Энэхүү тоног төхөөрөмж нь магнетрон цацалт болон эсэргүүцлийн ууршилтын технологийг нэгтгэсэн бөгөөд янз бүрийн суурь материалыг бүрэх шийдлийг санал болгодог.
Туршилтын бүрэх төхөөрөмжийг голчлон их дээд сургууль, шинжлэх ухааны судалгааны байгууллагуудад ашигладаг бөгөөд янз бүрийн туршилтын шаардлагыг хангаж чаддаг. Тоног төхөөрөмжид янз бүрийн бүтцийн зорилтуудыг хадгалсан бөгөөд тэдгээрийг янз бүрийн салбарын шинжлэх ухааны судалгаа, хөгжүүлэлтэд нийцүүлэн уян хатан тохируулж болно. Магнетрон цацалтын систем, катодын нуман систем, электрон цацрагийн ууршуулах систем, эсэргүүцлийн ууршуулах систем, CVD, PECVD, ионы эх үүсвэр, хэвийсэн систем, халаалтын систем, гурван хэмжээст бэхэлгээ гэх мэтийг сонгож болно. Үйлчлүүлэгчид өөрсдийн хэрэгцээнд нийцүүлэн сонголт хийх боломжтой.
Тоног төхөөрөмж нь үзэсгэлэнтэй төрх, авсаархан бүтэц, жижиг талбай, өндөр түвшний автоматжуулалт, энгийн бөгөөд уян хатан ажиллагаа, тогтвортой гүйцэтгэл, засвар үйлчилгээ хийхэд хялбар зэрэг шинж чанартай.
Тоног төхөөрөмжийг хуванцар, зэвэрдэггүй ган, цахилгаан бүрсэн тоног төхөөрөмж / хуванцар эд анги, шил, керамик болон бусад материалд ашиглаж болно. Титан, хром, мөнгө, зэс, хөнгөн цагаан зэрэг энгийн металл давхаргууд эсвэл TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC зэрэг металл нийлмэл хальснуудыг бэлтгэж болно.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(мм) | φ600*H800(мм) | φ800*H1000(мм) |