Энэхүү тоног төхөөрөмж нь магнетрон цацалт болон ионы бүрэх технологийг нэгтгэсэн бөгөөд өнгөний нягтрал, тунадасны хурд, нэгдлийн найрлагын тогтвортой байдлыг сайжруулах шийдлийг санал болгодог. Бүтээгдэхүүний өөр өөр шаардлагын дагуу халаалтын систем, хэвийсэн систем, ионжуулалтын систем болон бусад төхөөрөмжийг сонгож болно. Тоног төхөөрөмжөөр бэлтгэсэн бүрэх нь хүчтэй наалдамхай, өндөр нягтралтай байх давуу талтай бөгөөд энэ нь давсны шүрших эсэргүүцэл, элэгдэлд тэсвэртэй байдал, бүтээгдэхүүний гадаргуугийн хатуулгийг үр дүнтэй сайжруулж, өндөр гүйцэтгэлтэй бүрэх бэлтгэлийн шаардлагыг хангаж чадна.
Туршилтын бүрэх төхөөрөмжийг голчлон их дээд сургууль, шинжлэх ухааны судалгааны байгууллагуудад ашигладаг бөгөөд янз бүрийн туршилтын шаардлагыг хангаж чаддаг. Тоног төхөөрөмжид янз бүрийн бүтцийн зорилтуудыг хадгалсан бөгөөд тэдгээрийг янз бүрийн салбарын шинжлэх ухааны судалгаа, хөгжүүлэлтэд нийцүүлэн уян хатан тохируулж болно. Магнетрон цацалтын систем, катодын нуман систем, электрон цацрагийн ууршуулах систем, эсэргүүцлийн ууршуулах систем, CVD, PECVD, ионы эх үүсвэр, хэвийсэн систем, халаалтын систем, гурван хэмжээст бэхэлгээ гэх мэтийг сонгож болно. Үйлчлүүлэгчид өөрсдийн хэрэгцээнд нийцүүлэн сонголт хийх боломжтой.
Тоног төхөөрөмж нь үзэсгэлэнтэй төрх, авсаархан бүтэц, жижиг талбай, өндөр түвшний автоматжуулалт, энгийн бөгөөд уян хатан ажиллагаа, тогтвортой гүйцэтгэл, засвар үйлчилгээ хийхэд хялбар зэрэг шинж чанартай.
Энэхүү төхөөрөмжийг зэвэрдэггүй ган, цахилгаан бүрсэн тоног төхөөрөмж / хуванцар эд анги, шил, керамик болон бусад материалд ашиглаж болно. Титан, хром, мөнгө, зэс зэрэг энгийн металл давхаргууд эсвэл TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC зэрэг металл нийлмэл хальснуудыг бэлтгэж болно. Энэ нь бараан хар, зуухны алт, ягаан алт, дуураймал алт, цирконий алт, индранил цэнхэр, тод мөнгө болон бусад өнгийг гаргаж авах боломжтой.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(мм) | φ600*H800(мм) | φ800*H1000(мм) |