Металл хальсны эсэргүүцлийн температурын эсэргүүцлийн коэффициент нь хальсны зузаанаас хамаарч өөр өөр байдаг, нимгэн хальс нь сөрөг, зузаан хальс нь эерэг, зузаан хальс нь задгай материалтай төстэй боловч ижил биш юм. Ерөнхийдөө хальсны зузаан нь хэдэн арван нанометр хүртэл нэмэгдэх тусам эсэргүүцлийн температурын эсэргүүцлийн коэффициент сөрөгээс эерэг болж өөрчлөгддөг.
Үүнээс гадна ууршилтын хурд нь металл хальсны эсэргүүцэх температурын коэффициентэд нөлөөлдөг. Кино давхаргын бэлтгэсэн ууршилтын бага хурд нь сул, электронууд түүний боломжит саадыг давж, дамжуулах чадвар сул, исэлдэлт, шингээлттэй хосолсон байдаг тул эсэргүүцлийн утга өндөр, эсэргүүцлийн температурын коэффициент нь бага, эсвэл бүр сөрөг, ууршилтын хурд нэмэгдэж, эсэргүүцлийн температурын коэффициент бага зэрэг их, сөрөгээс эерэг болж өөрчлөгддөг. Энэ нь хагас дамжуулагч шинж чанар, сөрөг утгын эсэргүүцлийн температурын коэффицент исэлдэлтийн улмаас бэлтгэсэн киноны ууршилт багатай холбоотой юм. Өндөр ууршилтаар бэлтгэсэн хальс нь металл шинж чанартай, эерэг температурын эсэргүүцлийн коэффициенттэй байдаг.
Температурын нөлөөгөөр хальсны бүтэц эргэлт буцалтгүй өөрчлөгддөг тул ууршилтын үед бүрэх давхаргын температураас хамааран хальсны эсэргүүцэл ба эсэргүүцлийн температурын коэффициент нь мөн өөрчлөгддөг бөгөөд хальс нь нимгэн байх тусам эрс өөрчлөгддөг. Үүнийг субстрат дээрх ойролцоох арал эсвэл гуурсан байгууламжийн хальсны хэсгүүдийн дахин ууршилт, тархалт, түүнчлэн торны тархалт, хольцын тархалт, торны согогийн тархалт, исэлдэлтийн үр дүнд үүссэн химийн өөрчлөлтүүд гэж үзэж болно.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэлГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 1-р сарын 18-ны хооронд