Шууд ионы цацрагийн хуримтлал нь ионы цацрагийн тусламжтайгаар хуримтлуулах нэг төрөл юм. Шууд ионы цацрагийн хуримтлал нь массаар тусгаарлагдаагүй ионы цацрагийн хуримтлал юм. Энэхүү техникийг анх 1971 онд ионы эх үүсвэрийн катод ба анодын үндсэн хэсэг нь нүүрстөрөгчөөс бүрддэг гэсэн зарчимд тулгуурлан алмаз шиг нүүрстөрөгчийн хальс үйлдвэрлэхэд ашиглагдаж байжээ.
Мэдрэмжтэй хийг гадагшлуулах камер руу оруулж, гадаад соронзон орон нэмж, бага даралтын нөхцөлд плазмын ялгадас үүсгэдэг бөгөөд энэ нь нүүрстөрөгчийн ионыг үүсгэхийн тулд электрод дээрх ионуудын цацрах нөлөөнд тулгуурладаг. Сийвэн дэх нүүрстөрөгчийн ион ба нягт ионыг нэгэн зэрэг хуримтлуулах камерт оруулан, субстрат дээрх сөрөг хэвийсэн даралтын улмаас субстрат руу шахах ажлыг хурдасгасан.
Туршилтын үр дүнгээс харахад нүүрстөрөгчийн ионууд нь 50~100эВ-ийн энергитэй байдагөрөөтемператур, Si, NaCI, KCI, Ni болон бусад субстратуудад ил тод алмаз шиг нүүрстөрөгчийн хальс бэлтгэх, эсэргүүцэл нь 10Q-см хүртэл өндөр, хугарлын илтгэгч 2 орчим, органик бус болон органик хүчилд уусдаггүй, маш өндөр хатуулагтай.
——Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2023 оны 8-р сарын 31-ний хооронд