Вакуум бүрэх төхөөрөмж нь ихэвчлэн хэд хэдэн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс бүрддэг бөгөөд тус бүр нь өөрийн гэсэн тусгай үүрэгтэй бөгөөд үр дүнтэй, жигд хальсыг бий болгохын тулд хамтран ажилладаг. Үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд болон тэдгээрийн чиг үүргийн тайлбарыг доор харуулав.
Үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Вакуум камер:
Чиг үүрэг: Ууршилт, шүрших үед бүрэх материалыг агаарын бохирдолтой урвалд оруулахаас сэргийлж нам даралтын эсвэл өндөр вакуум орчныг бүрдүүлж, хальсны цэвэр байдал, чанарыг хангана.
Бүтэц: Ихэвчлэн өндөр бат бэх, зэвэрдэггүй ган эсвэл хөнгөн цагаанаар хийгдсэн дотоод дизайн нь агаарын урсгалын хуваарилалт, субстратыг байрлуулахад хялбар байдлыг харгалзан үздэг.
Вакуум насосны систем:
Чиг үүрэг: Шаардлагатай вакуум түвшинд хүрэхийн тулд вакуум камерын доторх хийг шахахад ашигладаг.
Төрөл: Механик шахуургууд (жишээ нь эргэдэг шахуурга), турбомолекул насос, диффузын насос, ионы насос орно.
Ууршилтын эх үүсвэр эсвэл шүрших эх үүсвэр:
Чиг үүрэг: бүрэх материалыг халааж, ууршуулж, вакуум дахь уур эсвэл плазм үүсгэдэг.
Төрөл: эсэргүүцлийн халаалтын эх үүсвэр, электрон цацрагийн ууршилтын эх үүсвэр, магнетрон цацах эх үүсвэр, лазерын ууршилтын эх үүсвэр гэх мэт.
Субстрат эзэмшигч ба эргүүлэх механизм:
Чиг үүрэг: Субстратыг барьж, эргэлт эсвэл хэлбэлзэлээр бүрэх материалын гадаргуу дээр жигд тунадасыг хангана.
БҮТЭЭГДЭХҮҮН: Ихэвчлэн янз бүрийн хэлбэр, хэмжээтэй субстратыг байрлуулахын тулд тохируулж болох хавчаарууд болон эргэдэг/терсэх механизмуудыг багтаадаг.
Цахилгаан хангамж ба хяналтын систем:
Чиг үүрэг: Ууршилтын эх үүсвэр, шүрших эх үүсвэр болон бусад тоног төхөөрөмжийг эрчим хүчээр хангаж, температур, вакуум, цаг хугацаа гэх мэт бүрэх процессын параметрүүдийг хянадаг.
Бүрэлдэхүүн хэсгүүд: Цахилгаан хангамж, хяналтын самбар, компьютержсэн хяналтын систем, хяналтын мэдрэгч орно.
Хийн хангамжийн систем (шүршигч бүрэх төхөөрөмжид):
Чиг үүрэг: Цусны сийвэнг хадгалах эсвэл тодорхой нимгэн хальс үүсгэх химийн урвалд оролцохын тулд идэвхгүй хий (жишээ нь, аргон) эсвэл реактив хий (жишээлбэл, хүчилтөрөгч, азот) нийлүүлдэг.
Бүрэлдэхүүн хэсгүүд: Хийн цилиндр, урсгал хянагч, хий дамжуулах хоолой орно.
Хөргөх систем:
Чиг үүрэг: хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд ууршилтын эх үүсвэр, шүрших эх үүсвэр, вакуум камерыг хөргөнө.
Төрөл: усан хөргөлтийн систем, агаарын хөргөлтийн систем гэх мэт.
Хяналт, илрүүлэх систем:
Чиг үүрэг: Бүрхүүлгийн чанарыг баталгаажуулахын тулд хальсны зузаан, тунадасжилтын хурд, вакуум, температур зэрэг бүрэх үйл явцын үндсэн үзүүлэлтүүдийг бодит цаг хугацаанд нь хянах.
Төрөл: кварцын болор микро баланс, оптик зузаан хэмжигч, үлдэгдэл хийн анализатор гэх мэт.
Хамгаалах хэрэгсэл:
Чиг үүрэг: Өндөр температур, өндөр хүчдэл, вакуум орчны улмаас үүсэх аюулаас оператор болон тоног төхөөрөмжийн аюулгүй байдлыг хангана.
Бүрэлдэхүүн хэсгүүд: Хамгаалагч, яаралтай зогсоох товчлуур, хамгаалалтын түгжээ гэх мэт.
Дүгнэж хэлье.
Вакуум бүрэх төхөөрөмж нь эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн синергетик үйл ажиллагааны үр дүнд өндөр чанартай нимгэн хальс үүсгэх процессыг гүйцэтгэдэг. Эдгээр машинууд нь оптик, электроник, гоёл чимэглэлийн болон функциональ нимгэн хальс бэлтгэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 23-ны хооронд