ഡയറക്ട് അയോൺ ബീം ഡിപ്പോസിഷൻ എന്നത് ഒരു തരം അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ ആണ്. ഡയറക്ട് അയോൺ ബീം ഡിപ്പോസിഷൻ എന്നത് പിണ്ഡത്താൽ വേർതിരിക്കപ്പെടാത്ത ഒരു അയോൺ ബീം ഡിപ്പോസിഷനാണ്. അയോൺ സ്രോതസ്സിന്റെ കാഥോഡിന്റെയും ആനോഡിന്റെയും പ്രധാന ഭാഗം കാർബൺ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത് എന്ന തത്വത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കി, 1971 ൽ വജ്രം പോലുള്ള കാർബൺ ഫിലിമുകൾ നിർമ്മിക്കാൻ ഈ സാങ്കേതികവിദ്യ ആദ്യമായി ഉപയോഗിച്ചു.
സെൻസിബിൾ വാതകം ഡിസ്ചാർജ് ചേമ്പറിലേക്ക് നയിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ താഴ്ന്ന മർദ്ദ സാഹചര്യങ്ങളിൽ പ്ലാസ്മ ഡിസ്ചാർജ് ഉണ്ടാക്കുന്നതിനായി ഒരു ബാഹ്യ കാന്തികക്ഷേത്രം ചേർക്കുന്നു, ഇത് ഇലക്ട്രോഡുകളിലെ അയോണുകളുടെ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രഭാവത്തെ ആശ്രയിച്ച് കാർബൺ അയോണുകൾ ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു. കാർബൺ അയോണുകളും പ്ലാസ്മയിലെ സാന്ദ്രമായ അയോണുകളും ഒരേ സമയം ഡിപ്പോസിഷൻ ചേമ്പറിലേക്ക് പ്രേരിപ്പിക്കപ്പെട്ടു, കൂടാതെ അടിവസ്ത്രത്തിലെ നെഗറ്റീവ് ബയസ് മർദ്ദം കാരണം അവ അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് കുത്തിവയ്ക്കാൻ ത്വരിതപ്പെടുത്തി.
50~100eV ഊർജ്ജമുള്ള കാർബൺ അയോണുകൾ എന്ന് പരിശോധനാ ഫലങ്ങൾ കാണിക്കുന്നുമുറിസുതാര്യമായ വജ്രം പോലുള്ള കാർബൺ ഫിലിം തയ്യാറാക്കുമ്പോൾ Si, NaCI, KCI, Ni തുടങ്ങിയ സബ്സ്ട്രേറ്റുകളിൽ താപനില, 10Q-cm വരെ ഉയർന്ന പ്രതിരോധശേഷി, ഏകദേശം 2 റിഫ്രാക്റ്റീവ് സൂചിക, അജൈവ, ജൈവ ആസിഡുകളിൽ ലയിക്കാത്തത്, വളരെ ഉയർന്ന കാഠിന്യം എന്നിവയുണ്ട്.
——ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ
പോസ്റ്റ് സമയം: ഓഗസ്റ്റ്-31-2023