വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ഘടകങ്ങൾ

വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ സാധാരണയായി നിരവധി പ്രധാന ഘടകങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു, ഓരോന്നിനും അതിന്റേതായ പ്രത്യേക ധർമ്മമുണ്ട്, കാര്യക്ഷമവും ഏകീകൃതവുമായ ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ നേടുന്നതിന് അവ ഒരുമിച്ച് പ്രവർത്തിക്കുന്നു. പ്രധാന ഘടകങ്ങളുടെയും അവയുടെ ധർമ്മങ്ങളുടെയും ഒരു വിവരണം താഴെ കൊടുക്കുന്നു:

പ്രധാന ഘടകങ്ങൾ
വാക്വം ചേമ്പർ:
പ്രവർത്തനം: ബാഷ്പീകരണത്തിനിടയിലോ സ്പട്ടറിംഗിലോ വായുവിലൂടെയുള്ള മാലിന്യങ്ങളുമായി കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ പ്രതിപ്രവർത്തിക്കുന്നത് തടയാൻ താഴ്ന്ന മർദ്ദത്തിലുള്ളതോ ഉയർന്ന വാക്വം ഉള്ളതോ ആയ അന്തരീക്ഷം നൽകുന്നു, ഇത് ഫിലിമിന്റെ പരിശുദ്ധിയും ഗുണനിലവാരവും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഘടന: സാധാരണയായി ഉയർന്ന കരുത്തുള്ള സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ അല്ലെങ്കിൽ അലുമിനിയം കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ആന്തരിക രൂപകൽപ്പന വായുപ്രവാഹ വിതരണവും അടിവസ്ത്ര സ്ഥാനത്തിന്റെ എളുപ്പവും കണക്കിലെടുക്കുന്നു.
വാക്വം പമ്പ് സിസ്റ്റം:
പ്രവർത്തനം: ആവശ്യമായ വാക്വം ലെവൽ നേടുന്നതിന് വാക്വം ചേമ്പറിനുള്ളിലെ വാതകം പമ്പ് ചെയ്യാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
തരങ്ങൾ: മെക്കാനിക്കൽ പമ്പുകൾ (ഉദാ: റോട്ടറി വെയ്ൻ പമ്പുകൾ), ടർബോമോളിക്യുലാർ പമ്പുകൾ, ഡിഫ്യൂഷൻ പമ്പുകൾ, അയോൺ പമ്പുകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.
ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് അല്ലെങ്കിൽ സ്പൂട്ടറിംഗ് സ്രോതസ്സ്:
പ്രവർത്തനം: ഒരു ശൂന്യതയിൽ ഒരു നീരാവി അല്ലെങ്കിൽ പ്ലാസ്മ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ ചൂടാക്കി ബാഷ്പീകരിക്കുന്നു.
തരങ്ങൾ: റെസിസ്റ്റൻസ് ഹീറ്റിംഗ് സ്രോതസ്സ്, ഇലക്ട്രോൺ ബീം ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ്, മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് സ്രോതസ്സ്, ലേസർ ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് മുതലായവ ഉൾപ്പെടെ.
സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഹോൾഡറും കറങ്ങുന്ന സംവിധാനവും:
പ്രവർത്തനം: അടിവസ്ത്രത്തെ പിടിച്ചുനിർത്തുകയും ഭ്രമണം അല്ലെങ്കിൽ ആന്ദോളനം വഴി അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലിന്റെ ഏകീകൃത നിക്ഷേപം ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
നിർമ്മാണം: വ്യത്യസ്ത ആകൃതിയിലും വലിപ്പത്തിലുമുള്ള അടിവസ്ത്രങ്ങളെ ഉൾക്കൊള്ളുന്നതിനായി ക്രമീകരിക്കാവുന്ന ക്ലാമ്പുകളും കറങ്ങുന്ന/ആന്ദോളന സംവിധാനങ്ങളും സാധാരണയായി ഉൾപ്പെടുന്നു.
വൈദ്യുതി വിതരണവും നിയന്ത്രണ സംവിധാനവും:
പ്രവർത്തനം: ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ്, സ്പട്ടറിംഗ് സ്രോതസ്സ്, മറ്റ് ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്ക് വൈദ്യുതി നൽകുന്നു, കൂടാതെ താപനില, വാക്വം, സമയം തുടങ്ങിയ മൊത്തത്തിലുള്ള കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ പാരാമീറ്ററുകൾ നിയന്ത്രിക്കുന്നു.
ഘടകങ്ങൾ: പവർ സപ്ലൈസ്, കൺട്രോൾ പാനലുകൾ, കമ്പ്യൂട്ടറൈസ്ഡ് കൺട്രോൾ സിസ്റ്റങ്ങൾ, മോണിറ്ററിംഗ് സെൻസറുകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.
ഗ്യാസ് വിതരണ സംവിധാനം (സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾക്ക്):
ധർമ്മം: പ്ലാസ്മ നിലനിർത്തുന്നതിനോ ഒരു പ്രത്യേക നേർത്ത ഫിലിം സൃഷ്ടിക്കുന്നതിന് ഒരു രാസപ്രവർത്തനത്തിൽ പങ്കെടുക്കുന്നതിനോ നിഷ്ക്രിയ വാതകങ്ങൾ (ഉദാ: ആർഗോൺ) അല്ലെങ്കിൽ പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകങ്ങൾ (ഉദാ: ഓക്സിജൻ, നൈട്രജൻ) നൽകുന്നു.
ഘടകങ്ങൾ: ഗ്യാസ് സിലിണ്ടറുകൾ, ഫ്ലോ കൺട്രോളറുകൾ, ഗ്യാസ് ഡെലിവറി പൈപ്പിംഗ് എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.
തണുപ്പിക്കൽ സംവിധാനം:
പ്രവർത്തനം: അമിതമായി ചൂടാകുന്നത് തടയാൻ ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ്, സ്പട്ടറിംഗ് സ്രോതസ്സ്, വാക്വം ചേമ്പർ എന്നിവ തണുപ്പിക്കുന്നു.
തരങ്ങൾ: വാട്ടർ കൂളിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളും എയർ കൂളിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളും മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു.
നിരീക്ഷണ, കണ്ടെത്തൽ സംവിധാനം:
പ്രവർത്തനം: കോട്ടിംഗിന്റെ ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കുന്നതിന്, ഫിലിം കനം, നിക്ഷേപ നിരക്ക്, വാക്വം, താപനില തുടങ്ങിയ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിലെ പ്രധാന പാരാമീറ്ററുകളുടെ തത്സമയ നിരീക്ഷണം.
തരങ്ങൾ: ക്വാർട്സ് ക്രിസ്റ്റൽ മൈക്രോബാലൻസ്, ഒപ്റ്റിക്കൽ കനം മോണിറ്റർ, റെസിഡ്യൂവൽ ഗ്യാസ് അനലൈസർ മുതലായവ ഉൾപ്പെടെ.
സംരക്ഷണ ഉപകരണങ്ങൾ:
പ്രവർത്തനം: ഉയർന്ന താപനില, ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് അല്ലെങ്കിൽ വാക്വം പരിതസ്ഥിതികൾ എന്നിവ മൂലമുണ്ടാകുന്ന അപകടങ്ങളിൽ നിന്ന് ഓപ്പറേറ്റർമാരുടെയും ഉപകരണങ്ങളുടെയും സുരക്ഷ ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഘടകങ്ങൾ: ഗാർഡുകൾ, അടിയന്തര സ്റ്റോപ്പ് ബട്ടണുകൾ, സുരക്ഷാ ഇന്റർലോക്കുകൾ മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു.
സംഗ്രഹിക്കുക.
വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ ഈ ഘടകങ്ങളുടെ സിനർജിസ്റ്റിക് പ്രവർത്തനത്തിലൂടെ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കുന്ന പ്രക്രിയ സാക്ഷാത്കരിക്കുന്നു. ഒപ്റ്റിക്കൽ, ഇലക്ട്രോണിക്, അലങ്കാര, ഫങ്ഷണൽ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിൽ ഈ യന്ത്രങ്ങൾ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ