Ko te nuinga o nga huānga matū ka taea te kohu ma te whakakotahi ki nga roopu matū, hei tauira, ka tauhohe a Si ki te H ki te hanga SiH4, ka hono a Al ki a CH3 hei hanga Al(CH3). I roto i te tukanga CVD waiariki, ko nga hau o runga ake nei ka mimiti i te nui o te hiko waiariki i a ratou e haere ana i roto i te taputapu whakamahana ka hanga i nga roopu hohenga, penei i te CH3 me te AL(CH3)2, me etahi atu. I muri mai, ka whakakotahi ratou ki a ratou ano, ka waiho hei kiriata kikokore. I roto i te take o te PECVD, ko te tukinga o nga irahiko, nga matūriki hihiko me nga ngota hau-waahanga i roto i te plasma ka whakarato i te kaha whakaoho e hiahiatia ana hei hanga i enei roopu matū tauhohenga.
Ko nga painga o te PECVD ko te nuinga o nga waahanga e whai ake nei:
(1) He iti ake te pāmahana o te tukanga i whakaritea ki te waipara matū matū, ko te nuinga na te whakakorikori plasma o nga matūriki tauhohenga hei utu mo te whakawera whakawera tikanga;
(2) He rite ano ki te CVD tikanga, he pai te whakakikorua o te paparanga kiriata;
(3) Ko te hanganga o te paparanga kiriata ka taea te whakahaere noa ki te waahanga nui, he mea ngawari ki te whiwhi kiriata multilayer;
(4) Ka taea te whakahaere i te ahotea o te kiriata e te hangarau whakaranu teitei/iti.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Apr-18-2024