Ny ankamaroan'ny singa simika dia azo etona amin'ny alalan'ny fampifangaroana azy ireo amin'ny vondrona simika, ohatra, Si dia mamaly amin'ny H ka mamorona SiH4, ary Al mitambatra amin'ny CH3 ho lasa Al(CH3). Ao amin'ny dingan'ny CVD mafana, ireo gazy etsy ambony dia misintona angovo mafana rehefa mandalo ny substrate mafana izy ireo ary mamorona vondrona reactive, toy ny CH3 sy AL (CH3) 2, sns. Avy eo izy ireo dia mitambatra amin'ny tsirairay mba hamorona vondrona reactive, izay apetraka amin'ny substrate. Aorian'izay dia mitambatra izy ireo ary apetraka ho filma manify. Amin'ny trangan'ny PECVD, ny fifandonan'ny elektrôna, ny poti energetic ary ny molekiola misy entona ao amin'ny plasma dia manome ny angovo fampahavitrihana ilaina amin'ny fananganana ireo vondrona simika reactive ireo.
Ny tombony amin'ny PECVD dia amin'ny lafiny manaraka:
(1) ambany kokoa ny mari-pana amin'ny dingana raha oharina amin'ny etona simika mahazatra, izay noho ny fampahavitrihana plasma amin'ny poti-doko mihetsika fa tsy ny fampahavitrihana mahazatra;
(2) Mitovy amin'ny CVD mahazatra, fametahana tsara ny takelaka sarimihetsika;
(3) Ny firafitry ny sarimihetsika sosona dia azo fehezina amin'ny fomba be dia be, ka mahatonga azy ho mora ny mahazo multilayer sarimihetsika;
(4) Ny adin-tsaina amin'ny sarimihetsika dia azo fehezina amin'ny teknolojia fampifangaroana avo / ambany.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Apr-18-2024