Thevakuuma pārklāšanas iekārtassastāv no daudzām precīzām detaļām, kuras tiek izgatavotas, izmantojot dažādus procesus, piemēram, metināšanu, slīpēšanu, virpošanu, ēvelēšanu, urbšanu, frēzēšanu utt. Šo darbu dēļ iekārtu detaļu virsmas neizbēgami tiks piesārņotas ar tādiem piesārņotājiem kā tauki, eļļas netīrumi, metāla skaidas, metināšanas plūsma, pulēšanas pasta, sviedru pēdas utt. Šie piesārņotāji vakuuma apstākļos viegli iztvaiko, tādējādi ietekmējot iekārtas galīgo vakuumu.
Turklāt šie vakuuma piesārņotāji no mehāniskās apstrādes absorbē lielu daudzumu gāzes atmosfēras spiediena vidē, un vakuuma stāvoklī šīs iepriekš adsorbētās gāzes arī atkal tiks atbrīvotas, kļūstot par galveno faktoru, kas ierobežo vakuuma robežvērtību. Šī iemesla dēļ piesārņotāji ir jānoņem pirms vakuuma pārklāšanas iekārtas detaļu montāžas.
Vakuuma iekārtu lietošanas laikā tiks piesārņotas arī to sastāvdaļas. Tomēr piesārņojumu no šī avota galvenokārt rada lietošanas apstākļi un vakuuma sūknis.
1. Vakuuma mērierīces kvēldiega iztvaikošana augstā temperatūrā novedīs pie plēves veidošanās uz keramikas izolatora, kas zināmā mērā bojās tā izolācijas izturību un arī zināmā mērā ietekmēs tā mērījumu precizitāti;
2. Augstas temperatūras iztvaikošanas dēļ vakuumā uz virsmas pie elektronu lielgabala kvēldiega veidosies metāla plēve;
3. Sagataves izsmidzināšanas dēļ jonu staru kodināšanas iekārtas iekšējā siena tiks piesārņota ar šļakatām;
4. Vakuuma iztvaikošanas pārklāšanas iekārtas iekšējā siena tiks piesārņota ar tās iztvaikošanas mērķa materiālu;
5. Bieži tiek izmantota vakuuma žāvēšanas sistēma, un sistēma tiks piesārņota ar iztvaikotajām vielām;
6. Vakuuma pārklāšanas iekārtās esošā difūzijas sūkņa eļļa un mehāniskā sūkņa eļļa arī ir galvenais piesārņojuma avots. Pēc ilgstošas pārklāšanas iekārtas darbības iekārtas iekšpusē var veidoties eļļas plēve.
Rezumējot, iekārtu vakuuma sanitārija ietver vakuuma iekārtas, vakuuma sistēmas, vakuuma procesa ražošanas un citus aspektus un saiknes, kā arī pašas vakuuma pārklāšanas iekārtas un īpašā vakuuma procesa prasības lietošanas apstākļos. Tāpēc vakuuma piesārņojums ir problēma, kurai jāpievērš uzmanība, jo šis piesārņojums ietekmēs iekārtu darbību, un uzmanība jāpievērš regulārai vai savlaicīgai tīrīšanai.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 21. februāris

