Metāla plēves pretestības temperatūras koeficients mainās atkarībā no plēves biezuma, plānas plēves ir negatīvas, biezas plēves ir pozitīvas, un biezākas plēves ir līdzīgas, bet ne identiskas beramiem materiāliem. Kopumā pretestības temperatūras koeficients mainās no negatīva uz pozitīvu, plēves biezumam palielinoties līdz desmitiem nanometru.
Turklāt iztvaikošanas ātrums ietekmē arī metāla plēvju pretestības temperatūras koeficientu. Ar zemu iztvaikošanas ātrumu plēves slānis ir brīvs, elektroni šķērso tā potenciāla barjeru un vadītspēja ir vāja, kas saistīta ar oksidēšanos un adsorbciju, tāpēc pretestības vērtība ir augsta, pretestības temperatūras koeficients ir mazs vai pat negatīvs. Palielinoties iztvaikošanas ātrumam, pretestības temperatūras koeficients nedaudz mainās no liela uz pozitīvu. Tas ir saistīts ar sagatavotās plēves zemo iztvaikošanas ātrumu, jo pusvadītāju īpašības oksidējas, un pretestības temperatūras koeficienta vērtības ir negatīvas. Ar augstu iztvaikošanas ātrumu sagatavotajām plēvēm parasti piemīt metāla īpašības un pozitīvs pretestības temperatūras koeficients.
Tā kā plēves struktūra neatgriezeniski mainās atkarībā no temperatūras, plēves pretestība un pretestības temperatūras koeficients mainās arī atkarībā no pārklājuma slāņa temperatūras iztvaikošanas laikā, un jo plānāka ir plēve, jo krasākas ir izmaiņas. To var uzskatīt par ķīmisko izmaiņu rezultātu, ko izraisa aptuvenās salas vai cauruļveida struktūras plēves daļiņu atkārtota iztvaikošana un pārdale uz substrāta, kā arī režģa izkliede, piemaisījumu izkliede, režģa defektu izkliede un oksidēšanās.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnas ražošanar Guandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 18. janvāris