Tiešā jonu kūļa pārnešana ir jonu kūļa veicinātas pārnešanas veids. Tiešā jonu kūļa pārnešana ir jonu kūļa pārnešana bez masas atdalīšanas. Šī metode pirmo reizi tika izmantota dimanta tipa oglekļa plēvju ražošanai 1971. gadā, pamatojoties uz principu, ka jonu avota katoda un anoda galvenā daļa ir izgatavota no oglekļa.
Jūtamā gāze tiek ievadīta izlādes kamerā, un tiek pievienots ārējs magnētiskais lauks, lai zema spiediena apstākļos izraisītu plazmas izlādi, paļaujoties uz jonu izsmidzināšanas efektu uz elektrodiem, lai radītu oglekļa jonus. Oglekļa joni un blīvie joni plazmā vienlaikus tika inducēti nogulsnēšanas kamerā, un tie tika paātrināti, lai tos ievadītu substrātā negatīvā spiediena dēļ uz substrāta.
Testa rezultāti liecina, ka oglekļa joni ar enerģiju 50–100 eV pieistabaTemperatūra Si, NaCI, KCI, Ni un citos substrātos, veidojot caurspīdīgu dimanta formas oglekļa plēvi, pretestība var sasniegt 10Q-cm, refrakcijas indekss ir aptuveni 2, nešķīst neorganiskās un organiskās skābēs un ir ļoti augsta cietība.
——Šo rakstu publicējisvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 31. augusts