Vakuuma pārklāšanas iekārtas parasti sastāv no vairākām galvenajām sastāvdaļām, katrai no kurām ir sava īpaša funkcija, kas darbojas saskaņoti, lai panāktu efektīvu un vienmērīgu plēves uzklāšanu. Zemāk ir sniegts galveno sastāvdaļu un to funkciju apraksts:
Galvenās sastāvdaļas
Vakuuma kamera:
Funkcija: Nodrošina zema spiediena vai augsta vakuuma vidi, lai novērstu pārklājuma materiāla reakciju ar gaisā esošajiem piemaisījumiem iztvaikošanas vai izsmidzināšanas laikā, tādējādi nodrošinot plēves tīrību un kvalitāti.
Struktūra: Parasti izgatavota no augstas stiprības nerūsējošā tērauda vai alumīnija, iekšējā konstrukcija ņem vērā gaisa plūsmas sadalījumu un substrāta novietošanas vienkāršību.
Vakuuma sūkņa sistēma:
Funkcija: Izmanto, lai izsūknētu gāzi vakuuma kamerā, lai sasniegtu nepieciešamo vakuuma līmeni.
Veidi: Ieskaitot mehāniskos sūkņus (piemēram, rotācijas lāpstiņu sūkņus), turbomolekulāros sūkņus, difūzijas sūkņus un jonu sūkņus.
Iztvaikošanas avots vai izsmidzināšanas avots:
Funkcija: uzsilda un iztvaicē pārklājuma materiālu, veidojot tvaiku vai plazmu vakuumā.
Veidi: tostarp pretestības sildīšanas avots, elektronu staru iztvaikošanas avots, magnetrona izsmidzināšanas avots un lāzera iztvaikošanas avots utt.
Substrāta turētājs un rotācijas mehānisms:
Funkcija: Notur substrātu un nodrošina pārklājuma materiāla vienmērīgu nogulsnēšanos uz substrāta virsmas, izmantojot rotāciju vai svārstības.
KONSTRUKCIJA: Parasti ietver regulējamas skavas un rotējošus/svārstošus mehānismus, lai pielāgotos dažādu formu un izmēru substrātiem.
Barošanas un vadības sistēma:
Funkcija: Nodrošina enerģiju iztvaikošanas avotam, izsmidzināšanas avotam un citam aprīkojumam, kā arī kontrolē visa pārklāšanas procesa parametrus, piemēram, temperatūru, vakuumu un laiku.
Sastāvdaļas: Ietver barošanas blokus, vadības paneļus, datorizētas vadības sistēmas un uzraudzības sensorus.
Gāzes padeves sistēma (izsmidzināšanas pārklāšanas iekārtām):
Funkcija: Piegādā inertas gāzes (piemēram, argonu) vai reaģējošas gāzes (piemēram, skābekli, slāpekli), lai uzturētu plazmu vai piedalītos ķīmiskā reakcijā, kuras rezultātā veidojas īpaša plāna plēve.
Sastāvdaļas: Ietver gāzes balonus, plūsmas regulatorus un gāzes padeves caurules.
Dzesēšanas sistēma:
Funkcija: atdzesē iztvaikošanas avotu, izsmidzināšanas avotu un vakuuma kameru, lai novērstu pārkaršanu.
Veidi: ietver ūdens dzesēšanas sistēmas un gaisa dzesēšanas sistēmas utt.
Uzraudzības un noteikšanas sistēma:
Funkcija: Pārklāšanas procesa galveno parametru, piemēram, plēves biezuma, nogulsnēšanas ātruma, vakuuma un temperatūras, uzraudzība reāllaikā, lai nodrošinātu pārklājuma kvalitāti.
Veidi: tostarp kvarca kristāla mikrosvars, optiskais biezuma monitors un atlikušās gāzes analizators utt.
Aizsargierīces:
Funkcija: Nodrošina operatoru un iekārtu drošību pret apdraudējumiem, ko rada augsta temperatūra, augsts spriegums vai vakuuma vide.
Sastāvdaļas: Ietver aizsargus, avārijas apturēšanas pogas un drošības bloķēšanas ierīces utt.
Apkopot.
Vakuuma pārklāšanas iekārtas realizē augstas kvalitātes plāno plēvju uzklāšanas procesu, izmantojot šo komponentu sinerģisku darbību. Šīm iekārtām ir būtiska loma optisko, elektronisko, dekoratīvo un funkcionālo plāno plēvju sagatavošanā.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 23. jūlijs