Thevakuuminio dengimo įrangasudarytas iš daugelio tikslių detalių, kurios gaminamos įvairiais procesais, tokiais kaip suvirinimas, šlifavimas, tekinimas, obliavimas, gręžimas, frezavimas ir kt. Dėl šių darbų įrangos dalių paviršius neišvengiamai užteršiamas tam tikrais teršalais, tokiais kaip riebalai, alyvos nešvarumai, metalo drožlės, suvirinimo fliusas, poliravimo pasta, prakaito žymės ir kt. Šie teršalai vakuumo sąlygomis lengvai išgaruoja, todėl turi įtakos galutiniam įrangos vakuumui.
Be to, šie mechaninio apdorojimo vakuuminiai teršalai atmosferos slėgio aplinkoje sugeria didelį kiekį dujų, o vakuuminėje būsenoje šios anksčiau adsorbuotos dujos vėl išsiskiria, tapdamos pagrindiniu veiksniu, ribojančiu ribinį vakuumą. Dėl šios priežasties teršalai turi būti pašalinti prieš surenkant vakuuminio dengimo mašinos dalis.
Naudojant vakuuminę įrangą, jos komponentai taip pat bus užteršti. Tačiau taršą iš šio šaltinio daugiausia lemia naudojimo sąlygos ir vakuuminis siurblys.
1. Dėl vakuuminio matuoklio kaitinimo siūlelio išgaravimo aukštoje temperatūroje ant keraminio izoliatoriaus susidarys plėvelė, kuri tam tikru mastu pažeis jo izoliacijos stiprumą ir turės įtakos matavimo tikslumui;
2. Dėl aukštos temperatūros garavimo vakuume ant elektronų patrankos paviršiaus šalia kaitinimo siūlelio susidarys metalinė plėvelė;
3. Dėl ruošinio dulkinimosi jonų pluošto ėsdinimo įrangos vidinė sienelė bus užteršta purslais;
4. Vakuuminio garinimo dengimo įrangos vidinė sienelė bus užteršta jos garinimo tiksline medžiaga;
5. Dažnai naudojama vakuuminė džiovinimo sistema, o sistema bus užteršta išgarinusiomis medžiagomis;
6. Difuzinio siurblio alyva ir mechaninio siurblio alyva vakuuminio dengimo įrangoje taip pat yra pagrindinis taršos šaltinis. Ilgą laiką veikiančiai dengimo mašinai įrangos viduje gali susidaryti alyvos plėvelė.
Apibendrinant galima teigti, kad įrangos vakuuminis valymas apima vakuuminę įrangą, vakuuminę sistemą, vakuuminio proceso gamybą ir kitus aspektus bei sąsajas, taip pat pačios vakuuminio dengimo įrangos ir specialaus vakuuminio proceso reikalavimus naudojimo sąlygoms. Todėl vakuuminė tarša yra dėmesio verta problema, nes ši tarša paveiks įrangos veikimą, todėl reikia atkreipti dėmesį į reguliarų arba savalaikį valymą.
Įrašo laikas: 2023 m. vasario 21 d.