Metalo plėvelės varžos temperatūros koeficientas kinta priklausomai nuo plėvelės storio: plonos plėvelės yra neigiamos, storos plėvelės – teigiamos, o storesnės plėvelės yra panašios, bet ne identiškos birių medžiagų savybėms. Apskritai varžos temperatūros koeficientas kinta iš neigiamo į teigiamą, kai plėvelės storis padidėja iki dešimčių nanometrų.
Be to, garavimo greitis taip pat turi įtakos metalinių plėvelių varžos temperatūros koeficientui. Esant mažam garavimo greičiui, plėvelės sluoksnis yra laisvas, elektronai skersai potencialo barjero ir jo gebėjimas generuoti laidumą yra silpnas, kartu vykstant oksidacijai ir adsorbcijai, todėl varžos vertė yra didelė, varžos temperatūros koeficientas yra mažas arba net neigiamas. Didėjant garavimo greičiui, varžos temperatūros koeficientas šiek tiek kinta iš didelės į neigiamą į teigiamą. Taip yra dėl mažo pagamintos plėvelės garavimo greičio dėl oksidacijos, kai puslaidininkinės savybės sumažėja, o varžos temperatūros koeficiento vertės yra neigiamos. Esant dideliam garavimo greičiui, plėvelės paprastai pasižymi metalinėmis savybėmis ir turi teigiamą varžos temperatūros koeficientą.
Kadangi plėvelės struktūra negrįžtamai kinta priklausomai nuo temperatūros, plėvelės varža ir varžos temperatūros koeficientas taip pat kinta kartu su dangos sluoksnio temperatūra garavimo metu, ir kuo plonesnė plėvelė, tuo pokytis drastiškesnis. Tai galima laikyti cheminių pokyčių, kuriuos sukelia pakartotinis garavimas ir apytikslės salos arba vamzdinės struktūros plėvelės dalelių persiskirstymas ant pagrindo, taip pat gardelės sklaida, priemaišų sklaida, gardelės defektų sklaida ir oksidacija, pasekme.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinos gamybar Guangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. sausio 18 d.