Tiesioginis jonų pluošto nusodinimas yra jonų pluošto pagalba atliekamo nusodinimo tipas. Tiesioginis jonų pluošto nusodinimas yra masės neatskyrimo jonų pluošto nusodinimas. Ši technika pirmą kartą buvo panaudota deimanto tipo anglies plėvelėms gaminti 1971 m., remiantis principu, kad pagrindinė jonų šaltinio katodo ir anodo dalis yra pagaminta iš anglies.
Jautrios dujos įleidžiamos į iškrovimo kamerą ir pridedamas išorinis magnetinis laukas, kuris žemo slėgio sąlygomis sukelia plazmos iškrovą, pasikliaudamas jonų dulkinimo efektu ant elektrodų ir susidarydamas anglies jonus. Anglies jonai ir tankūs jonai plazmoje tuo pačiu metu buvo indukuojami į nusodinimo kamerą ir dėl neigiamo poslinkio slėgio ant pagrindo jie buvo pagreitinti, kad būtų įpurškiami ant pagrindo.
Bandymo rezultatai rodo, kad anglies jonai, kurių energija yra 50–100 eV, esantkambarysTemperatūra, Si, NaCI, KCI, Ni ir kituose substratuose, ruošiant skaidrią deimanto formos anglies plėvelę, kurios varža siekia 10Q-cm, lūžio rodiklis apie 2, netirpsta neorganinėse ir organinėse rūgštyse, turi labai didelį kietumą.
——Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. rugpjūčio 31 d.