Vakuuminio dengimo įranga paprastai sudaryta iš kelių pagrindinių komponentų, kurių kiekvienas atlieka savo specifinę funkciją ir kurie veikia kartu, kad būtų pasiektas efektyvus ir tolygus plėvelės nusodinimas. Žemiau pateikiamas pagrindinių komponentų ir jų funkcijų aprašymas:
Pagrindiniai komponentai
Vakuuminė kamera:
Funkcija: Užtikrina žemo slėgio arba didelio vakuumo aplinką, kad dangos medžiaga nereaguotų su ore esančiomis priemaišomis garavimo ar purškimo metu, užtikrinant plėvelės grynumą ir kokybę.
Konstrukcija: Paprastai pagaminta iš didelio stiprumo nerūdijančio plieno arba aliuminio, vidinė konstrukcija atsižvelgia į oro srauto paskirstymą ir lengvą pagrindo išdėstymą.
Vakuuminio siurblio sistema:
Funkcija: Naudojama dujoms išsiurbti vakuuminėje kameroje, kad būtų pasiektas reikiamas vakuumo lygis.
Tipai: Įskaitant mechaninius siurblius (pvz., rotacinius mentinius siurblius), turbomolekulinius siurblius, difuzinius siurblius ir jonų siurblius.
Garavimo šaltinis arba purškimo šaltinis:
Funkcija: kaitina ir garina dangos medžiagą, kad vakuume susidarytų garai arba plazma.
Tipai: įskaitant varžinį šildymo šaltinį, elektronų pluošto garinimo šaltinį, magnetroninio purškimo šaltinį ir lazerinio garinimo šaltinį ir kt.
Padėklo laikiklis ir sukimosi mechanizmas:
Funkcija: Laiko pagrindą ir užtikrina tolygų dangos medžiagos nusodinimą ant pagrindo paviršiaus sukant arba svyruojant.
KONSTRUKCIJA: Paprastai apima reguliuojamus spaustukus ir besisukančius / svyruojančius mechanizmus, skirtus įvairių formų ir dydžių pagrindams.
Maitinimo ir valdymo sistema:
Funkcija: Tiekia energiją garinimo šaltiniui, purškimo šaltiniui ir kitai įrangai bei valdo viso dengimo proceso parametrus, tokius kaip temperatūra, vakuumas ir laikas.
Komponentai: apima maitinimo šaltinius, valdymo skydus, kompiuterizuotas valdymo sistemas ir stebėjimo jutiklius.
Dujų tiekimo sistema (purškimo įrangai):
Funkcija: Tiekia inertines dujas (pvz., argoną) arba reaktyviąsias dujas (pvz., deguonį, azotą), kad palaikytų plazmą arba dalyvautų cheminėje reakcijoje, siekiant sukurti specifinę ploną plėvelę.
Komponentai: apima dujų balionus, srauto reguliatorius ir dujų tiekimo vamzdynus.
Aušinimo sistema:
Funkcija: vėsina garinimo šaltinį, purškimo šaltinį ir vakuuminę kamerą, kad būtų išvengta perkaitimo.
Tipai: apima vandens aušinimo sistemas ir oro aušinimo sistemas ir kt.
Stebėjimo ir aptikimo sistema:
Funkcija: Pagrindinių dengimo proceso parametrų, tokių kaip plėvelės storis, nusodinimo greitis, vakuumas ir temperatūra, stebėjimas realiuoju laiku, siekiant užtikrinti dengimo kokybę.
Tipai: įskaitant kvarco kristalų mikrobalansą, optinį storio matuoklį ir likutinių dujų analizatorių ir kt.
Apsauginiai įtaisai:
Funkcija: Užtikrina operatorių ir įrangos saugumą nuo pavojų, kuriuos sukelia aukšta temperatūra, aukšta įtampa ar vakuuminė aplinka.
Komponentai: Apima apsaugas, avarinio stabdymo mygtukus ir saugos blokus ir kt.
Apibendrinti.
Vakuuminio dengimo įranga realizuoja aukštos kokybės plonų plėvelių nusodinimo procesą, veikdama sinergiškai veikiant šiems komponentams. Šios mašinos atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį ruošiant optines, elektronines, dekoratyvines ir funkcines plonas plėveles.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. liepos 23 d.