ອົງປະກອບຂອງອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດ

ອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວປະກອບດ້ວຍອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຈໍານວນຫນຶ່ງ, ແຕ່ລະຄົນມີຫນ້າທີ່ສະເພາະຂອງຕົນເອງ, ທີ່ເຮັດວຽກຢູ່ໃນຄອນເສີດເພື່ອບັນລຸປະສິດທິພາບ, ການຝາກຮູບເງົາເປັນເອກະພາບ. ຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນລາຍລະອຽດຂອງອົງປະກອບຕົ້ນຕໍແລະຫນ້າທີ່ຂອງເຂົາເຈົ້າ:

ອົງປະກອບຫຼັກ
ຫ້ອງສູນຍາກາດ:
ຟັງຊັນ: ສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມກົດດັນຕ່ໍາຫຼືສູນຍາກາດສູງເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອຸປະກອນການເຄືອບຈາກປະຕິກິລິຍາກັບ impurities ທາງອາກາດໃນລະຫວ່າງການລະເຫີຍຫຼື sputtering, ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ.
ໂຄງສ້າງ: ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດດ້ວຍຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ສະແຕນເລດຫຼືອາລູມິນຽມ, ການອອກແບບພາຍໃນໃຊ້ເວລາເຂົ້າໄປໃນບັນຊີການແຜ່ກະຈາຍຂອງອາກາດແລະຄວາມງ່າຍຂອງການວາງ substrate.
ລະບົບເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ:
ຟັງຊັນ: ໃຊ້ເພື່ອສູບອາຍແກັສພາຍໃນຫ້ອງສູນຍາກາດເພື່ອບັນລຸລະດັບສູນຍາກາດທີ່ຕ້ອງການ.
ປະເພດ: ລວມທັງປັ໊ມກົນຈັກ (ເຊັ່ນ: ປັ໊ມ rotary vane), ປໍ້າ turbomolecular, ປັ໊ມກະຈາຍແລະປັ໊ມ ion.
ແຫຼ່ງການລະເຫີຍຫຼືແຫຼ່ງ sputtering:
ຟັງຊັນ: ເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ evaporates ວັດສະດຸເຄືອບເພື່ອສ້າງເປັນ vapor ຫຼື plasma ໃນສູນຍາກາດ.
ປະເພດ: ລວມທັງແຫຼ່ງຄວາມຮ້ອນຕໍ່ຕ້ານ, ແຫຼ່ງການລະເຫີຍຂອງ beam ເອເລັກໂຕຣນິກ, ແຫຼ່ງ sputtering magnetron ແລະແຫຼ່ງການລະເຫີຍຂອງເລເຊີ, ແລະອື່ນໆ.
ກົນໄກການຫມຸນແລະຕົວຍຶດ substrate:
ການທໍາງານ: ຖື substrate ແລະຮັບປະກັນການຝາກເອກະພາບຂອງອຸປະກອນການເຄືອບຢູ່ດ້ານຂອງ substrate ໄດ້ໂດຍການຫມຸນຫຼື oscillation.
ການກໍ່ສ້າງ: ໂດຍປົກກະຕິປະກອບມີຕົວຍຶດທີ່ສາມາດປັບໄດ້ແລະກົນໄກການຫມຸນ / ການສັ່ນສະເທືອນເພື່ອຮອງຮັບ substrates ຂອງຮູບຮ່າງແລະຂະຫນາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ລະບົບການສະຫນອງພະລັງງານແລະການຄວບຄຸມ:
ຟັງຊັນ: ສະຫນອງພະລັງງານໃຫ້ກັບແຫຼ່ງການລະເຫີຍ, ແຫຼ່ງ sputtering ແລະອຸປະກອນອື່ນໆ, ແລະຄວບຄຸມຕົວກໍານົດການຂອງຂະບວນການເຄືອບໂດຍລວມເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມ, ສູນຍາກາດແລະເວລາ.
ອົງປະກອບ: ປະກອບມີເຄື່ອງສະຫນອງພະລັງງານ, ແຜງຄວບຄຸມ, ລະບົບຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີ, ແລະເຊັນເຊີຕິດຕາມກວດກາ.
ລະບົບການສະຫນອງອາຍແກັສ (ສໍາລັບອຸປະກອນການເຄືອບ sputter):
ຟັງຊັນ: ສະຫນອງທາດອາຍຜິດ inert (ຕົວຢ່າງ, argon) ຫຼືທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຍາ (ຕົວຢ່າງ, ອົກຊີເຈນ, ໄນໂຕຣເຈນ) ເພື່ອຮັກສາ plasma ຫຼືເຂົ້າຮ່ວມໃນຕິກິຣິຍາເຄມີເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆສະເພາະ.
ອົງປະກອບ: ປະກອບມີທໍ່ອາຍແກັສ, ຕົວຄວບຄຸມການໄຫຼ, ແລະທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສ.
ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນ:
ຟັງຊັນ: ເຮັດໃຫ້ແຫຼ່ງການລະເຫີຍເຢັນ, ແຫຼ່ງ sputtering ແລະຫ້ອງສູນຍາກາດເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນເກີນ.
ປະເພດ: ປະກອບມີລະບົບລະບາຍນ້ໍາແລະລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນທາງອາກາດ, ແລະອື່ນໆ.
ລະ​ບົບ​ຕິດ​ຕາມ​ກວດ​ກາ​ແລະ​ການ​ກວດ​ສອບ​:
ຟັງຊັນ: ການຕິດຕາມເວລາທີ່ແທ້ຈິງຂອງຕົວກໍານົດການທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການເຄືອບ, ເຊັ່ນ: ຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາ, ອັດຕາການຝາກ, ສູນຍາກາດແລະອຸນຫະພູມ, ເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບການເຄືອບ.
ປະເພດ: ລວມທັງ microbalance ໄປເຊຍກັນ quartz, ຈໍພາບຄວາມຫນາ optical ແລະເຄື່ອງວິເຄາະອາຍແກັສທີ່ຕົກຄ້າງ, ແລະອື່ນໆ.
ອຸປະກອນປ້ອງກັນ:
ຟັງຊັນ: ຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພຂອງຜູ້ປະຕິບັດການແລະອຸປະກອນຈາກອັນຕະລາຍທີ່ເກີດຈາກອຸນຫະພູມສູງ, ແຮງດັນສູງຫຼືສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ.
ອົງປະກອບ: ປະກອບມີກອງ, ປຸ່ມຢຸດສຸກເສີນ ແລະຕົວລັອກຄວາມປອດໄພ, ແລະອື່ນໆ.
ສະຫຼຸບ.
ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຮັບຮູ້ຂະບວນການຝາກຮູບເງົາບາງໆທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໂດຍຜ່ານການເຮັດວຽກ synergistic ຂອງອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້. ເຄື່ອງຈັກເຫຼົ່ານີ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການກະກຽມຂອງ optical, ເອເລັກໂຕຣນິກ, ການຕົກແຕ່ງແລະຮູບເງົາບາງໆທີ່ເປັນປະໂຫຍດ.

- ບົດ​ຄວາມ​ນີ້​ໄດ້​ຖືກ​ປ່ອຍ​ອອກ​ມາ​ຈາກ​ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua