DenVakuumbeschichtungsanlagenbesteet aus ville präzisen Deeler, déi duerch vill Prozesser hiergestallt ginn, wéi Schweessen, Schleifen, Dréien, Hobelen, Bueren, Fräsen asw. Wéinst dësen Aarbechten gëtt d'Uewerfläch vun den Ausrüstungsdeeler onvermeidbar mat verschmotzende Substanzen wéi Fett, Ueleg, Dreck, Metallspéin, Schweessflussmëttel, Polierpaste, Schweessmarken asw. kontaminéiert. Dës Schadstoffer verflüchte sech liicht ënner Vakuumbedingungen, wat de ultimativen Vakuum vun der Ausrüstung beaflosst.
Zousätzlech absorbéieren dës Vakuumverschmotzungen aus der mechanescher Veraarbechtung eng grouss Quantitéit u Gas an der Atmosphärendrockëmfeld, an am Vakuumzoustand ginn dës virdru adsorbéiert Gasen och erëm fräigesat, wat e wichtege Faktor gëtt, deen de Limitvakuum limitéiert. Aus dësem Grond mussen d'Verschmotzungen ewechgeholl ginn, ier d'Deeler vun der Vakuumbeschichtungsmaschinn zesummegebaut ginn.
Beim Gebrauch vun der Vakuumausrüstung ginn och seng Komponenten kontaminéiert. D'Verschmotzung vun dëser Quell gëtt awer haaptsächlech duerch d'Benotzungsbedingungen an d'Vakuumpompel verursaacht.
1. D'Verdampfung vum Filament vum Vakuummesser ënner héijen Temperaturen féiert zu der Bildung vun engem Film um Keramikisolator, wat seng Isolatiounsstäerkt bis zu engem gewësse Grad beschiedegt an och e gewëssen Afloss op d'Genauegkeet vu senger Miessung huet;
2. Wéinst der Verdampfung bei héijer Temperatur gëtt e Metallfilm op der Uewerfläch beim Filament vun der Elektronekanoun am Vakuum geformt;
3. Wéinst dem Sputteren vum Werkstéck gëtt d'bannenzeg Mauer vun der Ionenstrahl-Ätzungsanlag duerch Sprëtzer kontaminéiert;
4. Déi bannenzeg Mauer vun der Vakuumverdampfungsbeschichtungsausrüstung gëtt duerch hiert Verdampfungszilmaterial kontaminéiert;
5. E Vakuum-Dréchsystem gëtt dacks benotzt, an de System gëtt duerch déi verdampft Substanzen kontaminéiert;
6. Den Ueleg vun der Diffusiounspompel an den Ueleg vun der mechanescher Pompel an der Vakuumbeschichtungsmaschinn sinn och eng grouss Verschmotzungsquell. Nodeems d'Beschichtungsmaschinn eng laang Zäit geschafft huet, kann sech en Uelegfilm am Apparat bilden.
Zesummegefaasst ëmfaasst d'Vakuumsanéierung vun Ausrüstung d'Vakuumausrüstung, de Vakuumsystem, de Vakuumprozessproduktioun an aner Aspekter a Verbindungen, souwéi d'Ufuerderunge vun der Vakuumbeschichtungsausrüstung selwer an de spezielle Vakuumprozess un d'Benotzungsbedingungen. Dofir ass Vakuumverschmotzung e Problem, dat Opmierksamkeet verdéngt, well dës Verschmotzung d'Leeschtung vun der Ausrüstung beaflosst, an et sollt op reegelméisseg oder zu all Moment Botzen opgepasst ginn.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 21. Februar 2023