Den Temperaturkoeffizient vum Widderstand vun engem Metallfilm variéiert mat der Filmdicke, dënn Filmer si negativ, déck Filmer si positiv, an déck Filmer si ähnlech, awer net identesch mat Bulkmaterialien. Am Allgemengen ännert sech den Temperaturkoeffizient vum Widderstand vu negativ op positiv, wann d'Filmdicke op Zénger Nanometer eropgeet.
Zousätzlech beaflosst d'Verdampfungsquote och den ohmsche Temperaturkoeffizient vu Metallfilmer. Déi niddreg Verdampfungsquote, déi vun der Filmschicht virbereet gëtt, ass locker, d'Elektronen iwwer hir Potenzialbarrière an d'Fäegkeet fir Konduktivitéit ze produzéieren ass schwaach, gekoppelt mat Oxidatioun an Adsorptioun, sou datt de Resistenzwäert héich ass, den Temperaturkoeffizient vum Resistenz ass kleng oder souguer negativ, mat der Erhéijung vun der Verdampfungsquote ännert sech de Temperaturkoeffizient vum Resistenz bei klenger Quantitéit vu grouss, vu negativ op positiv. Dëst ass wéinst der niddreger Verdampfungsquote vum virbereete Film wéinst der Oxidatioun vun den Hallefleedereegeschafte, an dem negativen Temperaturkoeffizient vum Resistenz. D'Filmer, déi mat héijer Verdampfungsquote virbereet ginn, tendéieren metallesch Eegeschaften an e positiven Temperaturkoeffizient vum Resistenz ze hunn.
Well d'Struktur vum Film sech irreversibel mat der Temperatur ännert, ännert sech de Widderstand an de Widderstandstemperaturkoeffizient vum Film och mat der Temperatur vun der Beschichtungsschicht wärend der Verdampfung, a wat dënn de Film ass, wat d'Ännerung méi drastesch ass. Dëst kann als Resultat vun de chemesche Verännerungen ugesi ginn, déi duerch d'Neiverdampfung an d'Ëmverdeelung vu Partikelen vum ongeféieren Insel- oder Réierstrukturfilm um Substrat verursaacht ginn, souwéi Gitterstreuung, Verunreinigungsstreuung, Streuung vu Gitterdefekter an Oxidatioun.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunProduktioun vu Vakuumbeschichtungsmaschinnenr Guangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 18. Januar 2024