Vakuumbeschichtungsausrüstung besteet typescherweis aus verschiddene Schlësselkomponenten, jidderee mat senger eegener spezifescher Funktioun, déi zesumme schaffen fir eng effizient, eenheetlech Filmoflagerung z'erreechen. Hei ënnendrënner ass eng Beschreiwung vun den Haaptkomponenten an hire Funktiounen:
Haaptkomponenten
Vakuumkammer:
Funktioun: Bitt eng Ëmwelt mat Nidderdrock oder Héichvakuum, fir ze verhënneren, datt d'Beschichtungsmaterial mat Loftverunreinheeten beim Verdampfen oder Sputteren reagéiert, wouduerch d'Rengheet a Qualitéit vum Film garantéiert gëtt.
Struktur: Normalerweis aus héichfestem Edelstol oder Aluminium gemaach, berücksichtegt den internen Design d'Loftverdeelung an d'Liichtegkeet vun der Substratplacement.
Vakuumpompelsystem:
Funktioun: Gëtt benotzt fir de Gas an der Vakuumkammer erauszepompelen, fir dat gewënschte Vakuumniveau z'erreechen.
Typen: Dorënner mechanesch Pompelen (z.B. Rotatiounslamellenpompelen), Turbomolekularpompelen, Diffusiounspompelen an Ionenpompelen.
Verdampfungsquell oder Sputterquell:
Funktioun: Erhëtzt an verdampft d'Beschichtungsmaterial fir en Damp oder e Plasma am Vakuum ze bilden.
Typen: dorënner Widderstandsheizungsquell, Elektronestrahlverdampfungsquell, Magnetronsputterquell a Laserverdampfungsquell, etc.
Substrathalter a Rotatiounsmechanismus:
Funktioun: Halt de Substrat a garantéiert eng gläichméisseg Oflagerung vum Beschichtungsmaterial op der Uewerfläch vum Substrat duerch Rotatioun oder Oszillatioun.
KONSTRUKTIOUN: Enthält typescherweis justierbar Klammeren a rotéierend/oszilléierend Mechanismen fir Substrater vu verschiddene Formen a Gréissten z'ënnerstëtzen.
Stroumversuergung a Kontrollsystem:
Funktioun: Liwwert Stroum un d'Verdampfungsquell, d'Sputterquell an aner Ausrüstung a kontrolléiert Parameteren vum gesamte Beschichtungsprozess wéi Temperatur, Vakuum an Zäit.
Komponenten: Enthält Stroumversuergungen, Kontrollpanneauen, computeriséiert Kontrollsystemer a Iwwerwaachungssensoren.
Gasversuergungssystem (fir Sputterbeschichtungsausrüstung):
Funktioun: Liwwert Inertgaser (z.B. Argon) oder reaktiv Gaser (z.B. Sauerstoff, Stéckstoff) fir e Plasma z'erhalen oder un enger chemescher Reaktioun deelzehuelen fir e spezifeschen dënnen Film ze generéieren.
Komponenten: Enthält Gasfläschen, Duerchflussregler a Gasliwwerleitungen.
Killsystem:
Funktioun: killt d'Verdampfungsquell, d'Sputterquell an d'Vakuumkammer of, fir Iwwerhëtzung ze vermeiden.
Typen: enthalen Waasserkillsystemer a Loftkillsystemer, etc.
Iwwerwaachungs- a Detektiounssystem:
Funktioun: Echtzäit-Iwwerwaachung vu Schlësselparameteren am Beschichtungsprozess, wéi Schichtdicke, Oflagerungsquote, Vakuum an Temperatur, fir d'Beschichtungsqualitéit ze garantéieren.
Typen: dorënner Quarzkristall-Mikrowohlgewiicht, opteschen Décktenmonitor a Reschtgasanalysator, etc.
Schutzvorrichtungen:
Funktioun: Garantéiert d'Sécherheet vun de Bedreiwer an den Ausrüstung viru Geforen, déi duerch héich Temperaturen, héich Spannungen oder Vakuumëmfeld verursaacht ginn.
Komponenten: Enthält Schutzschützer, Noutstoppknäppercher a Sécherheetsverriegelungen, etc.
Resuméieren.
Vakuumbeschichtungsausrüstung realiséiert de Prozess vun der Oflagerung vun héichqualitativen Dënnschichten duerch déi synergistesch Aarbecht vun dëse Komponenten. Dës Maschinne spille eng wichteg Roll bei der Virbereedung vun opteschen, elektroneschen, dekorativen a funktionelle Dënnschichten.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 23. Juli 2024