Түздөн-түз ион нурунун жайгаштырылышы ион нурунун жардамы менен жайгаштыруунун бир түрү. Түздөн-түз ион нурунун чөктүрүлүшү – бул массадан бөлүнбөгөн ион нурунун чөгүүсү. Бул ыкма биринчи жолу 1971-жылы ион булагынын катодунун жана анодунун негизги бөлүгү көмүртектен жасалган деген принциптин негизинде алмаз сымал көмүртек пленкаларын алуу үчүн колдонулган.
Сезимдүү газ разряд камерасына киргизилет жана тышкы магнит талаасы көмүртек иондорун өндүрүү үчүн электроддордогу иондордун чачыратуу таасирине таянып, төмөнкү басымдын шарттарында плазманын разрядын пайда кылуу үчүн кошулат. Плазмадагы көмүртек иондору жана тыгыз иондор бир эле убакта тундурма камерасына индукцияланган жана субстраттагы терс басым басымынан улам субстратка инъекциялоо үчүн тездетилген.
Сыноолордун натыйжалары энергиясы 50~100эВ болгон көмүртек иондорун көрсөттүбөлмөтемпература, Si, NaCI, KCI, Ni жана тунук алмаз сымал көмүртек пленкасын даярдоо боюнча башка субстраттарда, каршылыгы 10Q-смге чейин, сынуу көрсөткүчү болжол менен 2, органикалык эмес жана органикалык кислоталарда эрибейт, абдан жогорку катуулукка ээ.
——Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 31-август-2023