Вакуумдук каптоо жабдуулары, адатта, бир нече негизги компоненттерден турат, алардын ар бири өзүнүн өзгөчө функциясына ээ, алар эффективдүү, бирдиктүү пленка коюуга жетишүү үчүн бирге иштешет. Төмөндө негизги компоненттеринин жана алардын милдеттеринин сүрөттөлүшү болуп саналат:
Негизги компоненттер
Вакуумдук камера:
Функциясы: буулануу же чачыратуу учурунда каптоочу материалдын абадагы аралашмалар менен реакциясына жол бербөө үчүн төмөнкү басымдагы же жогорку вакуумдук чөйрөнү камсыздайт, пленканын тазалыгын жана сапатын камсыз кылат.
Түзүлүшү: Көбүнчө күчтүү, дат баспас болоттон же алюминийден жасалган ички дизайн аба агымынын бөлүштүрүлүшүн жана субстрат жайгаштыруунун жеңилдигин эске алат.
Вакуумдук насос системасы:
Функциясы: Керектүү вакуум деңгээлине жетүү үчүн вакуумдук камеранын ичиндеги газды сордуруу үчүн колдонулат.
Түрлөрү: Анын ичинде механикалык насостор (мисалы, айланма канаттуу насостор), турбомолекулярдык насостор, диффузиялык насостор жана иондук насостор.
буулануу булагы же чачыратуу булагы:
Функциясы: вакуумда буу же плазманы пайда кылуу үчүн каптоочу материалды ысытат жана бууландырат.
Түрлөрү: анын ичинде каршылык жылытуу булагы, электрон нурунун буулануу булагы, магнетрондук чачыратуу булагы жана лазердик буулануу булагы ж.б.
Субстрат кармагыч жана айлануучу механизм:
Функциясы: субстратты кармап, каптоо материалынын субстраттын бетине айлануу же термелүү жолу менен бирдей жайгаштырылышын камсыз кылат.
КУРУЛУШ: Адатта, ар кандай формадагы жана өлчөмдөгү субстраттарды жайгаштыруу үчүн жөнгө салынуучу кыскычтарды жана айлануучу/термелүүчү механизмдерди камтыйт.
Электр менен камсыздоо жана башкаруу системасы:
Функциясы: буулануу булагына, чачыратуу булагына жана башка жабдууларга кубат берет жана температура, вакуум жана убакыт сыяктуу жалпы каптоо процессинин параметрлерин көзөмөлдөйт.
Компоненттери: кубат булактарын, башкаруу панелдерин, компьютерлештирилген башкаруу системаларын жана мониторинг сенсорлорун камтыйт.
Газ менен камсыз кылуу системасы (токтоочу жабдыктар үчүн):
Функциясы: Плазманы кармап туруу үчүн же белгилүү бир жука пленканы түзүү үчүн химиялык реакцияга катышуу үчүн инерттүү газдарды (мисалы, аргон) же реактивдүү газдарды (мисалы, кычкылтек, азот) берет.
Компоненттери: Газ баллондорун, агымды контролерлорду жана газ жеткирүүчү түтүктөрдү камтыйт.
Муздатуу системасы:
Функциясы: буулануу булагын, чачыратуу булагын жана вакуум камерасын ысып кетүүнүн алдын алуу үчүн муздатат.
Түрлөрү: суу муздатуу системалары жана аба муздатуу системалары, ж.б.
Мониторинг жана аныктоо системасы:
Функциясы: каптоо сапатын камсыз кылуу үчүн пленканын калыңдыгы, тундурма ылдамдыгы, вакуум жана температура сыяктуу каптоо процессиндеги негизги параметрлерге реалдуу убакыт режиминде мониторинг жүргүзүү.
Түрлөрү: анын ичинде кварц кристаллдык микробаланс, оптикалык калыңдык монитор жана калдык газ анализатору ж.б.
Коргоочу аппараттар:
Функциясы: операторлордун жана жабдуулардын коопсуздугун жогорку температуралар, жогорку чыңалуулар же вакуумдук чөйрөлөр менен шартталган коркунучтардан камсыздайт.
Компоненттери: сакчыларды, авариялык токтотуу баскычтарын жана коопсуздук блокторун ж.б. камтыйт.
Жыйынтыктоо.
Вакуумдук каптоо жабдуулары бул компоненттердин синергетикалык иштеши аркылуу жогорку сапаттагы жука пленкаларды салуу процессин ишке ашырат. Бул машиналар оптикалык, электрондук, кооздук жана функционалдуу жука пленкаларды даярдоодо маанилүү роль ойнойт.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 23-июль-2024