Piraniya elementên kîmyewî dikarin bi tevlihevkirina wan bi komên kîmyewî re werin buharkirin, mînak Si bi H re reaksiyon dike da ku SiH4 çêbike, û Al bi CH3 re têkel dibe da ku Al(CH3) çêbike. Di pêvajoya CVD ya germî de, gazên jorîn dema ku di bin sifrê germ re derbas dibin, mîqdarek diyarkirî ya enerjiya germî digirin û komên reaktîf çêdikin, wek CH3 û AL(CH3)2, û hwd. Dûv re ew bi hev re têne tevlihev kirin da ku komên reaktîf çêbikin, ku dûv re li ser binzemînê têne danîn. Piştre, ew bi hev re têne tevlihev kirin û wekî fîlimên tenik têne danîn. Di rewşa PECVD de, pevçûna elektronan, perçeyên enerjîk û molekulên qonaxa gazê di plazmayê de enerjiya çalakkirinê ya ku ji bo avakirina van komên kîmyewî yên reaktîf hewce ye peyda dike.
Feydeyên PECVD bi piranî di van aliyan de ne:
(1) Germahiya pêvajoyê li gorî danîna buhara kîmyewî ya kevneşopî kêmtir e, ku bi giranî ji ber aktîvkirina plazmayê ya perçeyên reaktîf li şûna aktîvkirina germkirina kevneşopî ye;
(2) Eynî wekî CVD-ya kevneşopî, pêçandina baş a qata fîlmê;
(3) Pêkhateya qata fîlmê dikare bi awayekî keyfî heta radeyekê mezin were kontrol kirin, ku ev yek bidestxistina fîlmên pirqatî hêsan dike;
(4) Stresa fîlmê dikare bi teknolojiya tevlihevkirina frekansên bilind/nizm were kontrol kirin.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 18ê Nîsanê, 2024