Koefîsyenta germahiya berxwedana fîlma metalî li gor qalindahiya fîlmê diguhere, fîlmên zirav neyînî ne, fîlmên stûr erênî ne, û fîlmên stûrtir dişibin lê ne yek in bi materyalên girseyî re. Bi gelemperî, koefîsyenta germahiya berxwedanê ya berxwedanê ji neyînî ber bi erênî ve diguhere dema ku qalindahiya fîlmê digihîje deh nanometreyan.
Herwiha, rêjeya buharbûnê bandorê li ser katsayiya germahiya berxwedanê ya fîlmên metalî jî dike. Rêjeya buharbûna nizm a ku ji hêla qata fîlmê ve tê amadekirin sist e, elektron li ser astengiya potansiyel a wê û şiyana hilberandina îletkeniyê qels e, digel oksîdasyon û adsorpsiyonê ve girêdayî ye, ji ber vê yekê nirxa berxwedanê bilind e, katsayiya germahiya berxwedanê piçûk e, an jî neyînî ye, bi zêdebûna rêjeya buharbûnê re, katsayiya germahiya berxwedanê ya berxwedanê ji mezin piçûk diguhere, ji neyînî ber bi erênî ve. Ev ji ber rêjeya buharbûna nizm a fîlmê ku tê amadekirin e ji ber oksîdasyona taybetmendiyên nîvconductor, katsayiya germahiya berxwedanê nirxên neyînî ne. Fîlmên ku bi rêjeya buharbûna bilind têne amadekirin, meyla wan heye ku xwedî taybetmendiyên metalîk bin û katsayiya germahiya berxwedanê ya erênî hebe.
Ji ber ku avahiya fîlmê bi germahiyê re bi awayekî bêveger diguhere, berxwedan û katsayiya germahiya berxwedanê ya fîlmê jî bi germahiya qata pêçanê re di dema buharbûnê de diguherin, û fîlm çiqas ziravtir be, guhertin ewqas tundtir dibe. Ev dikare wekî encamek guhertinên kîmyewî yên ku ji ber ji nû ve buharbûn û ji nû ve dabeşkirina perçeyên fîlma avahiya giravê ya nêzîkî an lûleyî li ser substratê, û her weha belavbûna torê, belavbûna nepakiyê, belavbûna kêmasiyên torê, û oksîdasyonê têne hesibandin.
- Ev gotar ji hêlaçêkirina makîneya boyaxkirina valahiyêr Guangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 18ê rêbendana 2024an