Amûrên boyaxkirina valahiyê bi gelemperî ji çend pêkhateyên sereke pêk tên, her yek bi fonksiyona xwe ya taybetî, ku bi hev re dixebitin da ku danîna fîlmê bi bandor û yekreng pêk bînin. Li jêr ravekek li ser pêkhateyên sereke û fonksiyonên wan heye:
Pêkhateyên Sereke
Odeya valahiyê:
Fonksiyon: Jîngehek bi zexta nizm an jî valahiyek bilind peyda dike da ku pêşî li reaksiyona materyalê pêçandinê bi nepakiyên hewayî re di dema buharbûn an jî sputterkirinê de bigire, û paqijî û kalîteya fîlmê misoger bike.
Pêkhate: Bi gelemperî ji pola zengarnegir an jî aluminiumê ya bihêz tê çêkirin, sêwirana navxweyî belavkirina herikîna hewayê û hêsaniya danîna substratê li ber çavan digire.
Sîstema pompa valahiyê:
Fonksiyon: Ji bo pompekirina gazê di hundirê odeya valahiyê de tê bikar anîn da ku asta valahiyê ya pêwîst were bidestxistin.
Cure: Di nav de pompên mekanîkî (mînak pompên perên zivirî), pompên turbomolekuler, pompên belavbûnê û pompên îyonê.
Çavkaniya buharbûnê an jî çavkaniya sputterkirinê:
Fonksiyon: materyalê pêçanê germ dike û dihele da ku di valahiyekê de buhar an plazmayê çêbike.
Cure: di nav de çavkaniya germkirina berxwedanê, çavkaniya buharbûna tîrêjên elektronan, çavkaniya sputterkirina magnetronê û çavkaniya buharbûna lazerê, û hwd.
Ragirkera substratê û mekanîzmaya zivirandinê:
Kar: Bingehê digire û bi zivirandin an lerizînê, bicihkirina yekreng a materyalê pêçandinê li ser rûyê bingehê misoger dike.
AVAKIRIN: Bi gelemperî kelepçeyên verastkirî û mekanîzmayên zivirî/lerzînê dihewîne da ku substratên bi şikl û mezinahîyên cûda bicîh bike.
Sîstema dabînkirina hêzê û kontrolkirinê:
Fonksiyon: Hêzê ji çavkaniya buharbûnê, çavkaniya sputterkirinê û alavên din re peyda dike, û parametreyên pêvajoya giştî ya pêçandinê yên wekî germahî, valahî û dem kontrol dike.
Pêkhateyên: Pêdiviyên hêzê, panelên kontrolê, pergalên kontrola komputerî, û sensorên çavdêriyê dihewîne.
Sîstema Dabînkirina Gazê (ji bo alavên pêçandina sputterê):
Kar: Gazên bêbandor (mînak, argon) an gazên reaktîf (mînak, oksîjen, nîtrojen) peyda dike da ku plazmayekê biparêze an jî beşdarî reaksiyonek kîmyewî bibe da ku fîlimek tenik a taybetî çêbike.
Pêkhateyên: Sîlîndirên gazê, kontrolkerên herikînê, û lûleyên radestkirina gazê dihewîne.
Sîstema Sarkirinê:
Fonksiyon: çavkaniya buharbûnê, çavkaniya sputterkirinê û odeya valahiyê sar dike da ku pêşî li germbûna zêde bigire.
Cure: di nav de pergalên sarkirina avê û pergalên sarkirina hewayê, û hwd.
Sîstema çavdêrîkirin û tespîtkirinê:
Fonksiyon: Çavdêriya rast-dem a parametreyên sereke di pêvajoya pêçandinê de, wekî stûriya fîlmê, rêjeya danîna avê, valahî û germahî, ji bo misogerkirina kalîteya pêçandinê.
Cure: di nav de mîkrobalansa krîstala kuartz, çavdêriya qalindahiya optîkî û analîzkera gaza mayî, hwd.
Amûrên parastinê:
Fonksiyon: Ewlekariya operator û alavan ji xetereyên ku ji ber germahiyên bilind, voltaja bilind an jîngehên valahiyê çêdibin misoger dike.
Pêkhateyên: Parastvan, bişkokên rawestandina acîl û kilîtkirinên ewlehiyê û hwd. dihewîne.
Bihevrekirin.
Amûrên boyaxkirina valahiyê pêvajoya danîna fîlmên tenik ên bi kalîte bilind bi rêya xebata hevnerî ya van pêkhateyan pêk tînin. Ev makîne di amadekirina fîlmên tenik ên optîkî, elektronîkî, xemilandî û fonksiyonel de roleke girîng dilîzin.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 23ê Tîrmehê, 2024