본 장비는 수직 모듈식 설계 구조를 채택하고 있으며, 여러 개의 접근 도어를 갖추어 캐비티의 독립적인 설치 및 유지보수, 조립, 그리고 향후 업그레이드를 용이하게 합니다. 또한, 공작물 오염을 방지하기 위해 완전 밀폐형 정화 재료 랙 이송 시스템을 탑재하고 있습니다. 공작물은 한쪽 또는 양쪽 면에 코팅할 수 있으며, 주로 광학 컬러 필름이나 금속 필름 증착에 사용됩니다.
장비의 코팅실은 장시간 고진공 상태를 유지하여 불순물 가스 발생을 최소화하고, 고순도의 코팅과 우수한 굴절률을 제공합니다. 완전 자동 Speedflo 폐루프 제어 시스템을 적용하여 박막 증착 속도를 향상시켰습니다. 공정 매개변수를 추적하고 생산 공정 전반을 모니터링하여 생산 결함을 쉽게 파악할 수 있습니다. 이 장비는 높은 자동화 수준을 갖추고 있으며, 로봇 팔과 함께 사용하여 전처리 및 후처리 공정을 연결하고 인건비를 절감할 수 있습니다.
코팅 생산 라인은 Nb를 코팅하는 데 사용할 수 있습니다.2O5, SiO2, TiO2구리, 크롬, 티타늄, 스테인리스강, 은 등의 산화물뿐만 아니라 단순 금속 재료에도 사용되며, 주로 금속과 광학 재료의 적층을 이용한 광학 컬러 필름 공정에 사용됩니다. 유리, PC 등의 평판 제품에 적합합니다.애완 동물및 기타 재료에 사용됩니다. PET 필름/복합판, 유리 덮개판, 디스플레이 화면 및 기타 제품에 널리 사용됩니다.