제품 설명

장비의 장점

1. 딥홀 코팅 최적화

독점적인 딥홀 코팅 기술: Zhenhua Vacuum이 자체 개발한 딥홀 코팅 기술은 30마이크로미터와 같이 작은 구멍에도 10:1의 뛰어난 종횡비를 달성하여 복잡한 딥홀 구조의 코팅 과제를 극복합니다.

2. 사용자 정의 가능, 다양한 크기 지원

600×600mm / 510×515mm 이상 사양을 포함하여 다양한 크기의 유리 기판을 지원합니다.

3. 다양한 소재와 호환되는 공정 유연성

이 장비는 Cu, Ti, W, Ni, Pt와 같은 전도성 또는 기능성 박막 소재와 호환되어 전도성과 내식성에 대한 다양한 응용 분야 요구 사항을 충족합니다.

4. 안정적인 장비 성능, 간편한 유지 보수

이 장비는 자동 매개변수 조정과 필름 두께 균일성의 실시간 모니터링을 가능하게 하는 지능형 제어 시스템을 갖추고 있으며, 모듈식 디자인을 채택하여 유지관리가 쉽고 가동 중지 시간을 줄여줍니다.

애플리케이션:TGV/TSV/TMV 고급 패키징에 사용할 수 있으며 종횡비 ≥10:1의 심공 시드층 코팅을 구현할 수 있습니다.