그만큼진공 코팅 장비장비는 용접, 연삭, 터닝, 플래닝, 보링, 밀링 등 여러 공정을 거쳐 제작되는 수많은 정밀 부품으로 구성됩니다. 이러한 작업으로 인해 장비 부품의 표면은 그리스, 오일 먼지, 금속 칩, 용접 플럭스, 연마 페이스트, 땀 자국 등과 같은 오염 물질로 오염될 수밖에 없습니다. 이러한 오염 물질은 진공 상태에서 쉽게 휘발되어 장비의 최종 진공도에 영향을 미칩니다.
또한, 기계 가공에서 발생하는 이러한 진공 오염 물질은 대기압 환경에서 다량의 가스를 흡수하고, 진공 상태에서는 이전에 흡착되었던 가스가 다시 방출되어 한계 진공도를 제한하는 주요 요인이 됩니다. 따라서 진공 코팅기 부품을 조립하기 전에 오염 물질을 제거해야 합니다.
진공 장비 사용 중 부품도 오염될 수 있습니다. 그러나 이러한 오염원은 주로 사용 조건과 진공 펌프에 의해 발생합니다.
1. 고온 조건에서 진공 게이지의 필라멘트가 증발하면 세라믹 절연체에 필름이 형성되어 절연 강도가 어느 정도 손상되고 측정 정확도에도 어느 정도 영향을 미칩니다.
2. 진공 상태에서는 고온 증발로 인해 전자총 필라멘트 근처 표면에 금속막이 형성됩니다.
3. 작업물 스퍼터링으로 인해 이온빔 에칭 장비의 내벽이 튀김으로 오염됩니다.
4. 진공증착코팅장비의 내벽은 증발대상물질에 의해 오염됩니다.
5. 진공 건조 시스템을 사용하는 경우가 많으며, 증발된 물질로 인해 시스템이 오염될 수 있습니다.
6. 진공 코팅 장비의 확산 펌프 오일과 기계식 펌프 오일 또한 주요 오염원입니다. 코팅 장비가 장시간 작동하면 장비 내부에 유막이 형성될 수 있습니다.
요약하자면, 장비의 진공 살균은 진공 장비, 진공 시스템, 진공 공정 생산 및 기타 측면과 연계성을 포함하며, 진공 코팅 장비 자체와 특수 진공 공정의 사용 조건에 대한 요구 사항도 포함합니다. 따라서 진공 오염은 장비 성능에 영향을 미치므로 주의해야 할 문제이며, 정기적 또는 수시로 청소하는 데 주의를 기울여야 합니다.
게시 시간: 2023년 2월 21일