금속 박막 저항 온도 계수는 박막 두께에 따라 달라지는데, 박막은 음수이고, 두꺼운 박막은 양수이며, 더 두꺼운 박막은 벌크 재료와 유사하지만 동일하지는 않습니다. 일반적으로 박막 두께가 수십 나노미터로 증가함에 따라 저항 온도 계수는 음수에서 양수로 변합니다.
또한, 증발 속도는 금속 박막의 저항 온도 계수에도 영향을 미칩니다. 증발 속도가 낮은 박막은 금속 박막층이 느슨하고, 전위 장벽을 통과하는 전자가 약하며, 산화 및 흡착과 결합되어 전도성을 생성하는 능력이 약하기 때문에 저항 값이 높고 저항 온도 계수는 작거나 심지어 음수입니다. 증발 속도가 증가함에 따라 저항 온도 계수는 큰 값에서 음수 값으로 약간 변합니다. 이는 제조된 박막의 낮은 증발 속도가 반도체 특성의 산화로 인해 발생하며, 저항 온도 계수는 음수 값입니다. 높은 증발 속도로 제조된 박막은 금속 특성을 갖는 경향이 있으며, 양의 저항 온도 계수를 갖습니다.
박막의 구조는 온도에 따라 비가역적으로 변하기 때문에, 증착 과정에서 박막의 저항과 저항 온도 계수 또한 코팅층의 온도에 따라 변하며, 박막이 얇을수록 그 변화는 더욱 급격합니다. 이는 기판 위의 섬 또는 관형 구조 박막 입자의 재증발 및 재분포에 의한 화학적 변화, 격자 산란, 불순물 산란, 격자 결함의 산란, 그리고 산화에 의한 결과로 볼 수 있습니다.
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게시 시간: 2024년 1월 18일