진공 코팅 장비의 구성 요소

진공 코팅 장비는 일반적으로 여러 핵심 부품으로 구성되며, 각 부품은 고유한 기능을 가지고 있으며, 효율적이고 균일한 필름 증착을 위해 함께 작동합니다. 주요 부품과 기능에 대한 설명은 다음과 같습니다.

주요 구성 요소
진공 챔버:
기능: 증발이나 스퍼터링 중에 코팅 재료가 공기 중의 불순물과 반응하는 것을 방지하기 위해 저압 또는 고진공 환경을 제공하여 필름의 순도와 품질을 보장합니다.
구조: 일반적으로 고강도 스테인리스 스틸이나 알루미늄으로 만들어지며, 내부 설계는 공기 흐름 분배와 기판 배치의 용이성을 고려합니다.
진공 펌프 시스템:
기능: 진공 챔버 내부의 가스를 펌핑하여 필요한 진공 수준을 달성하는 데 사용됩니다.
유형: 기계식 펌프(예: 회전 베인 펌프), 터보분자 펌프, 확산 펌프 및 이온 펌프가 포함됩니다.
증발원 또는 스퍼터링원:
기능: 코팅 재료를 가열하고 증발시켜 진공 상태에서 증기나 플라즈마를 형성합니다.
종류로는 저항가열원, 전자빔증발원, 마그네트론 스퍼터링원, 레이저증발원 등이 있습니다.
기판 홀더 및 회전 메커니즘:
기능: 기판을 고정하고 회전이나 진동을 통해 기판 표면에 코팅재가 균일하게 증착되도록 보장합니다.
구성: 일반적으로 다양한 모양과 크기의 기판을 수용하기 위해 조절 가능한 클램프와 회전/진동 메커니즘이 포함됩니다.
전원 공급 및 제어 시스템:
기능: 증발원, 스퍼터링원 및 기타 장비에 전원을 공급하고, 온도, 진공, 시간 등 전반적인 코팅 공정의 매개변수를 제어합니다.
구성 요소: 전원 공급 장치, 제어판, 컴퓨터 제어 시스템, 모니터링 센서가 포함됩니다.
가스 공급 시스템(스퍼터 코팅 장비용):
기능: 플라즈마를 유지하거나 화학 반응에 참여하여 특정 박막을 생성하기 위해 불활성 가스(예: 아르곤) 또는 반응성 가스(예: 산소, 질소)를 공급합니다.
구성 요소: 가스 실린더, 유량 제어 장치, 가스 공급 파이프가 포함됩니다.
냉각 시스템:
기능: 증발원, 스퍼터링원 및 진공 챔버를 냉각하여 과열을 방지합니다.
유형으로는 수냉식 시스템, 공랭식 시스템 등이 있습니다.
모니터링 및 감지 시스템:
기능: 코팅 공정의 주요 매개변수(필름 두께, 증착 속도, 진공, 온도 등)를 실시간으로 모니터링하여 코팅 품질을 보장합니다.
종류로는 석영 수정 마이크로저울, 광학 두께 모니터, 잔류 가스 분석기 등이 있습니다.
보호 장치:
기능: 고온, 고전압 또는 진공 환경으로 인해 발생하는 위험으로부터 작업자와 장비의 안전을 보장합니다.
구성 요소: 보호 장치, 비상 정지 버튼, 안전 연동 장치 등이 포함됩니다.
요약하세요.
진공 코팅 장비는 이러한 구성 요소들의 시너지 효과를 통해 고품질 박막 증착 공정을 구현합니다. 이 장비는 광학, 전자, 장식 및 기능성 박막 제조에 중요한 역할을 합니다.

–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화