ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳ ಘಟಕಗಳು

ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹಲವಾರು ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದ್ದು, ಪ್ರತಿಯೊಂದೂ ತನ್ನದೇ ಆದ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ, ಏಕರೂಪದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಒಟ್ಟಾಗಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಮುಖ್ಯ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಕಾರ್ಯಗಳ ವಿವರಣೆಯನ್ನು ಕೆಳಗೆ ನೀಡಲಾಗಿದೆ:

ಮುಖ್ಯ ಘಟಕಗಳು
ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆ:
ಕಾರ್ಯ: ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಲೇಪನ ವಸ್ತುವು ಗಾಳಿಯ ಕಲ್ಮಶಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಕಡಿಮೆ-ಒತ್ತಡದ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಚಿತ್ರದ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ರಚನೆ: ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ, ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಅಥವಾ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂನಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟ ಈ ಆಂತರಿಕ ವಿನ್ಯಾಸವು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಿಯೋಜನೆಯ ಸುಲಭತೆಯನ್ನು ಗಣನೆಗೆ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ:
ಕಾರ್ಯ: ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯೊಳಗಿನ ಅನಿಲವನ್ನು ಪಂಪ್ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ವಿಧಗಳು: ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳು (ಉದಾ. ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು), ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು, ಪ್ರಸರಣ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ.
ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲ ಅಥವಾ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಮೂಲ:
ಕಾರ್ಯ: ನಿರ್ವಾತದಲ್ಲಿ ಆವಿ ಅಥವಾ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಲೇಪನ ವಸ್ತುವನ್ನು ಬಿಸಿ ಮಾಡಿ ಆವಿಯಾಗುತ್ತದೆ.
ವಿಧಗಳು: ಪ್ರತಿರೋಧ ತಾಪನ ಮೂಲ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣದ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲ, ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಮೂಲ ಮತ್ತು ಲೇಸರ್ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲ, ಇತ್ಯಾದಿ.
ತಲಾಧಾರದ ಹೋಲ್ಡರ್ ಮತ್ತು ತಿರುಗುವ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನ:
ಕಾರ್ಯ: ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಹಿಡಿದಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಿರುಗುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಆಂದೋಲನದ ಮೂಲಕ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಲೇಪನ ವಸ್ತುವಿನ ಏಕರೂಪದ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ನಿರ್ಮಾಣ: ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವಿಭಿನ್ನ ಆಕಾರಗಳು ಮತ್ತು ಗಾತ್ರಗಳ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಲು ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಮಾಡಬಹುದಾದ ಕ್ಲಾಂಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ತಿರುಗುವ/ಆಂದೋಲನ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ.
ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ:
ಕಾರ್ಯ: ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲ, ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಮೂಲ ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ, ನಿರ್ವಾತ ಮತ್ತು ಸಮಯದಂತಹ ಒಟ್ಟಾರೆ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ.
ಘಟಕಗಳು: ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜುಗಳು, ನಿಯಂತ್ರಣ ಫಲಕಗಳು, ಗಣಕೀಕೃತ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣಾ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ.
ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ (ಸ್ಪಟ್ಟರ್ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ):
ಕಾರ್ಯ: ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅಥವಾ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಭಾಗವಹಿಸಲು ಜಡ ಅನಿಲಗಳನ್ನು (ಉದಾ. ಆರ್ಗಾನ್) ಅಥವಾ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲಗಳನ್ನು (ಉದಾ. ಆಮ್ಲಜನಕ, ಸಾರಜನಕ) ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.
ಘಟಕಗಳು: ಗ್ಯಾಸ್ ಸಿಲಿಂಡರ್‌ಗಳು, ಫ್ಲೋ ಕಂಟ್ರೋಲರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಸ್ ಡೆಲಿವರಿ ಪೈಪಿಂಗ್‌ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ.
ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆ:
ಕಾರ್ಯ: ಅಧಿಕ ಬಿಸಿಯಾಗುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲ, ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಮೂಲ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯನ್ನು ತಂಪಾಗಿಸುತ್ತದೆ.
ವಿಧಗಳು: ನೀರಿನ ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ಗಾಳಿ ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ.
ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು ಪತ್ತೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ:
ಕಾರ್ಯ: ಲೇಪನದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರಮುಖ ನಿಯತಾಂಕಗಳಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪ, ಶೇಖರಣಾ ದರ, ನಿರ್ವಾತ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ.
ವಿಧಗಳು: ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸಮತೋಲನ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ದಪ್ಪ ಮಾನಿಟರ್ ಮತ್ತು ಉಳಿದ ಅನಿಲ ವಿಶ್ಲೇಷಕ, ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿದಂತೆ.
ರಕ್ಷಣಾ ಸಾಧನಗಳು:
ಕಾರ್ಯ: ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ವೋಲ್ಟೇಜ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಅಪಾಯಗಳಿಂದ ನಿರ್ವಾಹಕರು ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳ ಸುರಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಘಟಕಗಳು: ಗಾರ್ಡ್‌ಗಳು, ತುರ್ತು ನಿಲುಗಡೆ ಗುಂಡಿಗಳು ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷತಾ ಇಂಟರ್‌ಲಾಕ್‌ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ.
ಸಾರಾಂಶಗೊಳಿಸಿ.
ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳು ಈ ಘಟಕಗಳ ಸಿನರ್ಜಿಸ್ಟಿಕ್ ಕೆಲಸದ ಮೂಲಕ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ. ಈ ಯಂತ್ರಗಳು ಆಪ್ಟಿಕಲ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್, ಅಲಂಕಾರಿಕ ಮತ್ತು ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವಹಿಸುತ್ತವೆ.

–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ