ធាតុគីមីភាគច្រើនអាចត្រូវបានបំភាយដោយការរួមបញ្ចូលគ្នាជាមួយក្រុមគីមី ឧទាហរណ៍ Si មានប្រតិកម្មជាមួយ H ដើម្បីបង្កើត SiH4 ហើយ Al ផ្សំជាមួយ CH3 ដើម្បីបង្កើតជា Al (CH3) ។ នៅក្នុងដំណើរការ CVD កំដៅ ឧស្ម័នខាងលើស្រូបយកបរិមាណជាក់លាក់នៃថាមពលកម្ដៅ នៅពេលដែលវាឆ្លងកាត់ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលគេឱ្យឈ្មោះថា ហើយបង្កើតជាក្រុមប្រតិកម្ម ដូចជា CH3 និង AL(CH3)2 ជាដើម បន្ទាប់មកពួកវាផ្សំជាមួយគ្នាដើម្បីបង្កើតជាក្រុមប្រតិកម្ម ដែលបន្ទាប់មកត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ បនា្ទាប់មកពួកវារួមផ្សំគ្នាទៅវិញទៅមកហើយត្រូវបានដាក់ជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។ ក្នុងករណី PECVD ការប៉ះទង្គិចនៃអេឡិចត្រុង ភាគល្អិតថាមពល និងម៉ូលេគុលដំណាក់កាលឧស្ម័ននៅក្នុងប្លាស្មាផ្តល់នូវថាមពលធ្វើឱ្យសកម្មដែលត្រូវការដើម្បីបង្កើតក្រុមគីមីប្រតិកម្មទាំងនេះ។
គុណសម្បត្តិរបស់ PECVD គឺភាគច្រើននៅក្នុងទិដ្ឋភាពដូចខាងក្រោមៈ
(1) សីតុណ្ហភាពដំណើរការទាបជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងការបំភាយចំហាយគីមីធម្មតា ដែលជាចម្បងដោយសារតែការធ្វើឱ្យប្លាស្មានៃភាគល្អិតមានប្រតិកម្មជំនួសឱ្យការធ្វើឱ្យសកម្មកំដៅធម្មតា;
(2) ដូចគ្នានឹង CVD ធម្មតាដែរ ការរុំព័ទ្ធជុំវិញល្អនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
(3) សមាសភាពនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងតាមអំពើចិត្តក្នុងកម្រិតធំដែលធ្វើឱ្យវាងាយស្រួលក្នុងការទទួលបានខ្សែភាពយន្តពហុស្រទាប់។
(4) ភាពតានតឹងនៃខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយបច្ចេកវិទ្យាលាយប្រេកង់ខ្ពស់/ទាប។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មេសា-១៨-២០២៤