ӨНІМНІҢ СИПАТТАМАСЫ

Жабын желісі модульдік құрылымды қолданады, бұл камераны процесс пен тиімділік талаптарына сәйкес ұлғайта алады және екі жағынан да жабынмен қаптауға болады, бұл икемді және ыңғайлы. Иондық тазалау жүйесімен, жылдам қыздыру жүйесімен және тұрақты ток магнетронды шашырату жүйесімен жабдықталған, ол қарапайым металл жабынды тиімді түрде жаға алады. Жабдық жылдам соғу, ыңғайлы қысу және жоғары тиімділікке ие.

Қаптау желісі иондық тазалау және жоғары температуралы пісіру жүйесімен жабдықталған, сондықтан тұндырылған пленканың адгезиясы жақсырақ. Айналмалы нысанамен шашырау бұрышының аз болуы пленканың кішкентай саңылаудың ішкі бетіне түсуіне қолайлы.

1. Жабдықтың құрылымы ықшам және еден ауданы шағын.
2. Вакуумдық жүйе ауаны соруға арналған молекулалық сорғымен жабдықталған, энергияны аз тұтынады.
3. Материалдық сөрені автоматты түрде қайтару жұмыс күшін үнемдейді.
4. Процесс параметрлерін бақылауға болады, ал өндірістік ақауларды бақылауды жеңілдету үшін өндіріс процесін бүкіл процесте бақылауға болады.
5. Жабу желісі жоғары дәрежеде автоматтандырылған. Оны манипулятормен бірге алдыңғы және артқы процестерді қосу және еңбек шығындарын азайту үшін пайдалануға болады.