Жабдықтың артықшылығы
1. Масштабталатын функционалдық конфигурация
Модульдік архитектуралық дизайнды пайдалана отырып, ол жаппай жылдам өндіріс режимдерін қолдайды, бұл функционалды камераларды тез қосуға, алып тастауға және қайта ұйымдастыруға мүмкіндік береді. Өндіріс желісінің орналасуын өндірістік қажеттіліктерге сәйкес икемді түрде реттеуге болады.
2. Дәл жабын технологиясы шешімі
Тесіктер арқылы өтетін құрылымдарды тиімді толтыруға қол жеткізу үшін шағын бұрышты айналмалы нысана шашырату технологиясын оңтайландырылған магнит өрісі шешімімен біріктіріп инновациялық түрде қолдану.
3. Айналмалы нысана құрылымын қабылдау
Бұл құрылым жабын материалының жоғалуын азайтады және мақсатты материалды пайдалануды жақсартады. Сондай-ақ, мақсатты ауыстыру циклін қысқартады, осылайша өндіріс тиімділігін арттырады.
4. Процесті басқарудың артықшылықтары
Магнетронды шашырату параметрлерін оңтайландыру және екі жақты синхронды тұндыру технологиясы арқылы күрделі құрылымдық компоненттердің жабын тиімділігі айтарлықтай жақсарады, ал материалдың жоғалу жылдамдығы төмендейді.
Қолдану:Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni және т.б. сияқты әртүрлі бір элементті металл пленка қабаттарын дайындауға қабілетті. Ол DPC керамикалық негіздері, керамикалық конденсаторлар, терморезисторлар, жарықдиодты керамикалық кронштейндер және т.б. сияқты жартылай өткізгіш электрондық компоненттерде кеңінен қолданылады.