ӨНІМ СИПАТТАМАСЫ

Жабдықтың артықшылығы

1. Терең саңылауларды жабуды оңтайландыру

Терең саңылауларды жабудың эксклюзивті технологиясы: Zhenhua Vacuum компаниясының өздігінен әзірлеген терең саңылауларды жабу технологиясы күрделі терең саңылау құрылымдарының жабу қиындықтарын жеңе отырып, тіпті 30 микрометрге дейінгі кішкентай саңылаулар үшін 10:1 жоғары арақатынасына қол жеткізе алады.

2. Реттелетін, әртүрлі өлшемдерді қолдайды

600×600мм / 510×515мм немесе одан да үлкен спецификацияларды қоса алғанда, әртүрлі өлшемдегі шыны негіздерді қолдайды.

3. Процесс икемділігі, бірнеше материалдармен үйлесімді

Жабдық Cu, Ti, W, Ni және Pt сияқты өткізгіш немесе функционалды жұқа үлбірлі материалдармен үйлесімді, өткізгіштік пен коррозияға төзімділік үшін әртүрлі қолдану қажеттіліктерін қанағаттандырады.

4. Тұрақты жабдық өнімділігі, оңай техникалық қызмет көрсету

Жабдық параметрлерді автоматты түрде реттеуге және пленка қалыңдығының біркелкілігін нақты уақытта бақылауға мүмкіндік беретін интеллектуалды басқару жүйесімен жабдықталған; ол жеңіл техникалық қызмет көрсету үшін модульдік дизайнды қабылдайды, бос уақытты азайтады.

Қолдану:TGV/TSV/TMV жетілдірілген орау үшін пайдалануға болады, ≥10:1 арақатынасы бар терең саңылаулардың тұқым қабатын жабуға қол жеткізуге болады.