Металл қабықша кедергісінің температуралық коэффициенті қабық қалыңдығына қарай өзгереді, жұқа қабыршақ теріс, қалың қабықша оң, ал қалың қабықша сусымалы материалдарға ұқсас, бірақ бірдей емес. Жалпы алғанда, қарсылықтың қарсылық температуралық коэффициенті пленка қалыңдығы ондаған нанометрге дейін артқан сайын терістен оңға өзгереді.
Сонымен қатар, булану жылдамдығы металл пленкалардың резистивті температуралық коэффициентіне де әсер етеді. Пленка қабатымен дайындалған төмен булану жылдамдығы бос, оның потенциалдық тосқауылынан өтетін электрондар және өткізгіштік қабілеті әлсіз, тотығу және адсорбциямен қосарланған, сондықтан қарсылық мәні жоғары, кедергі температурасының коэффициенті аз, тіпті теріс, булану жылдамдығының жоғарылауымен, кедергінің температуралық коэффициенті үлкеннен теріске, үлкеннен оңға дейін өзгереді. Бұл жартылай өткізгіш қасиеттерінің тотығуына байланысты дайындалған пленканың төмен булану жылдамдығына, теріс мәндердің кедергі температурасының коэффициентіне байланысты. Жоғары булану жылдамдығымен дайындалған пленкалар металдық қасиеттерге ие және оң қарсылық температура коэффициентіне ие.
Қабыршақтың құрылымы температураға байланысты қайтымсыз өзгеретіндіктен, булану кезінде қабықшаның кедергісі мен кедергісінің температуралық коэффициенті де жабын қабатының температурасына байланысты өзгереді, ал қабық неғұрлым жұқа болса, соғұрлым күрт өзгереді. Бұл шамамен аралдың немесе құбырлы құрылымды қабықшаның бөлшектерінің субстратта қайта булануы және қайта таралуы, сонымен қатар тордың шашырауы, қоспалардың шашырауы, тор ақауларының шашырауы және тотығу нәтижесінде пайда болатын химиялық өзгерістердің нәтижесі ретінде қарастыруға болады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машиналарын жасауr Гуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 18 қаңтар 2024 ж