Тікелей иондар сәулесін тұндыру - иондық сәуленің көмегімен тұндыру түрі. Тікелей иондық сәуленің тұндыру массасы бөлінбейтін иондық сәуленің тұнбасы болып табылады. Бұл әдіс алғаш рет 1971 жылы ион көзінің катоды мен анодының негізгі бөлігі көміртегіден тұрады деген принципке негізделген гауһар тәрізді көміртекті қабықшаларды алу үшін қолданылды.
Сезімтал газ разрядтық камераға жіберіледі және көміртегі иондарын өндіру үшін иондардың электродтарға шашыратқыш әсеріне сүйене отырып, төмен қысым жағдайында плазмалық разрядты тудыратын сыртқы магнит өрісі қосылады. Плазмадағы көміртегі иондары мен тығыз иондар тұндыру камерасына бір уақытта индукцияланды және олар субстратқа теріс ығысу қысымына байланысты субстратқа айдалу үшін жеделдетілді.
Сынақ нәтижелері көміртегі иондарының энергиясы 50~100эВ болатынын көрсеттібөлметемпература, Si, NaCI, KCI, Ni және басқа субстраттарда мөлдір алмас тәрізді көміртекті қабықшаны дайындауда, кедергісі 10Q-см-ге дейін, сыну көрсеткіші шамамен 2, бейорганикалық және органикалық қышқылдарда ерімейтін, өте жоғары қаттылыққа ие.
——Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 31 тамыз 2023 ж