Вакуумдық жабын жабдығы, әдетте, тиімді, біркелкі пленка тұндыруына қол жеткізу үшін үйлесімді жұмыс істейтін әрқайсысының өзіндік функциясы бар бірнеше негізгі компоненттерден тұрады. Төменде негізгі компоненттер мен олардың функцияларының сипаттамасы берілген:
Негізгі компоненттер
Вакуумдық камера:
Функция: қабықшаның тазалығы мен сапасын қамтамасыз ете отырып, булану немесе шашырату кезінде жабын материалының ауадағы қоспалармен әрекеттесуіне жол бермеу үшін төмен қысымды немесе жоғары вакуумды ортаны қамтамасыз етеді.
Құрылымы: Әдетте беріктігі жоғары, тот баспайтын болаттан немесе алюминийден жасалған ішкі дизайн ауа ағынының таралуын және субстратты орналастырудың қарапайымдылығын ескереді.
Вакуумдық сорғы жүйесі:
Функция: Қажетті вакуум деңгейіне жету үшін вакуумдық камераның ішіндегі газды айдау үшін қолданылады.
Түрлері: Соның ішінде механикалық сорғылар (мысалы, айналмалы қалақшалы сорғылар), турбомолекулярлық сорғылар, диффузиялық сорғылар және иондық сорғылар.
Булану көзі немесе шашырау көзі:
Функция: вакуумда бу немесе плазма қалыптастыру үшін жабын материалын қыздырады және буландырады.
Түрлері: қарсылық қыздыру көзі, электронды сәуленің булану көзі, магнетронды шашыратқыш көзі және лазерлік булану көзі және т.б.
Субстрат ұстағыш және айналмалы механизм:
Функция: субстратты ұстап тұрады және айналу немесе тербеліс арқылы субстрат бетіне жабын материалының біркелкі тұнбасын қамтамасыз етеді.
ҚҰРЫЛЫС: әдетте әртүрлі пішіндер мен өлшемдердің астарларын орналастыру үшін реттелетін қысқыштар мен айналмалы/тербелмелі механизмдерді қамтиды.
Электрмен жабдықтау және басқару жүйесі:
Функция: булану көзіне, шашырату көзіне және басқа жабдыққа қуат береді және температура, вакуум және уақыт сияқты жалпы жабу процесінің параметрлерін басқарады.
Құрамдас бөліктер: қуат көздерін, басқару панелдерін, компьютерленген басқару жүйелерін және бақылау сенсорларын қамтиды.
Газбен жабдықтау жүйесі (шашыратқыш жабын үшін):
Функция: плазманы сақтау немесе белгілі бір жұқа қабықша түзу үшін химиялық реакцияға қатысу үшін инертті газдарды (мысалы, аргон) немесе реактивті газдарды (мысалы, оттегі, азот) береді.
Құрамдас бөліктер: газ баллондарын, ағынды реттегіштерді және газ жеткізу құбырларын қамтиды.
Салқындату жүйесі:
Функция: қызып кетудің алдын алу үшін булану көзін, шашырату көзін және вакуумдық камераны салқындатады.
Түрлері: суды салқындату жүйелері мен ауаны салқындату жүйелері және т.б.
Бақылау және анықтау жүйесі:
Функция: жабын сапасын қамтамасыз ету үшін пленка қалыңдығы, тұндыру жылдамдығы, вакуум және температура сияқты жабу процесіндегі негізгі параметрлерді нақты уақытта бақылау.
Түрлері: соның ішінде кварц кристалының микробалансы, оптикалық қалыңдық мониторы және қалдық газ анализаторы және т.б.
Қорғаныс құралдары:
Функция: операторлар мен жабдықтың жоғары температура, жоғары кернеу немесе вакуумдық орта әсерінен болатын қауіптерден қауіпсіздігін қамтамасыз етеді.
Құрамдас бөліктер: Қорғауыштарды, авариялық тоқтату түймелерін және қауіпсіздік блоктарын және т.б. кіреді.
Қорытындылау.
Вакуумдық жабын жабдығы осы компоненттердің синергетикалық жұмысы арқылы жоғары сапалы жұқа қабықшаларды тұндыру процесін жүзеге асырады. Бұл машиналар оптикалық, электронды, сәндік және функционалды жұқа қабықшаларды дайындауда маңызды рөл атқарады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Хабарлама уақыты: 23 шілде 2024 ж