ქიმიური ელემენტების უმეტესობის აორთქლება შესაძლებელია ქიმიურ ჯგუფებთან შერწყმით, მაგ. Si რეაგირებს H-თან SiH4-ის წარმოქმნით, ხოლო Al უერთდება CH3-ს Al(CH3)-ის წარმოქმნით. თერმული CVD პროცესში, ზემოთ ჩამოთვლილი აირები შთანთქავენ გარკვეულ რაოდენობას თერმული ენერგიის გაცხელებულ სუბსტრატში გავლისას და ქმნიან რეაქტიულ ჯგუფებს, როგორიცაა CH3 და AL(CH3)2 და ა.შ. შემდეგ ისინი ერთმანეთთან შეერთდებიან რეაქტიული ჯგუფების წარმოქმნით, რომლებიც შემდეგ ილექება სუბსტრატზე. შემდგომში, ისინი ერთმანეთთან შეერთდებიან და ილექებიან თხელი ფენების სახით. PECVD-ის შემთხვევაში, პლაზმაში ელექტრონების, ენერგიული ნაწილაკების და აირადი ფაზის მოლეკულების შეჯახება უზრუნველყოფს ამ რეაქტიული ქიმიური ჯგუფების წარმოქმნისთვის საჭირო აქტივაციის ენერგიას.
PECVD-ის უპირატესობები ძირითადად შემდეგ ასპექტებშია:
(1) უფრო დაბალი პროცესის ტემპერატურა ტრადიციულ ქიმიურ ორთქლის დეპონირებასთან შედარებით, რაც ძირითადად განპირობებულია რეაქტიული ნაწილაკების პლაზმური აქტივაციით ტრადიციული გათბობის აქტივაციის ნაცვლად;
(2) იგივეა, რაც ჩვეულებრივი კარდიოვასკულური დიაგნოზის მეთოდი, ფირის ფენის კარგი შემოხვევა;
(3) ფირის ფენის შემადგენლობის კონტროლი შესაძლებელია თვითნებურად, დიდწილად, რაც მრავალშრიანი ფირების მიღებას აადვილებს;
(4) ფირის დაძაბულობის კონტროლი შესაძლებელია მაღალი/დაბალი სიხშირის შერევის ტექნოლოგიით.
- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: 2024 წლის 18 აპრილი