Peralatan lapisan vakum biasane dumadi saka sawetara komponen utama, saben duwe fungsi tartamtu dhewe, sing bisa bebarengan kanggo entuk deposisi film sing efisien lan seragam. Ing ngisor iki minangka katrangan babagan komponen utama lan fungsine:
Komponen Utama
Kamar vakum:
Fungsi: Nyedhiyani lingkungan tekanan rendah utawa vakum dhuwur kanggo nyegah bahan lapisan saka reaksi karo impurities udhara sajrone penguapan utawa sputtering, njamin kemurnian lan kualitas film.
Struktur: Biasane digawe saka dhuwur-kekuatan, stainless steel utawa aluminium, desain internal njupuk menyang akun distribusi aliran udara lan ease saka substrat placement.
Sistem pompa vakum:
Fungsi: Digunakake kanggo kumpa metu gas nang kamar vakum kanggo entuk tingkat vakum dibutuhake.
Jinis: Kalebu pompa mekanik (umpamane pompa baling-baling putar), pompa turbomolekul, pompa difusi lan pompa ion.
Sumber penguapan utawa sumber sputtering:
Fungsi: dadi panas lan nguap bahan lapisan kanggo mbentuk uap utawa plasma ing vakum.
Jinis: kalebu sumber pemanasan resistance, sumber penguapan sinar elektron, sumber sputtering magnetron lan sumber penguapan laser, lsp.
Substrat holder lan mekanisme puteran:
Fungsi: Nahan substrat lan njamin deposisi seragam saka materi lapisan ing permukaan substrat kanthi rotasi utawa osilasi.
KONSTRUKSI: Biasane kalebu clamps luwes lan puteran / mekanisme osilasi kanggo nampung substrat saka macem-macem wangun lan ukuran.
Power supply lan sistem kontrol:
Fungsi: Nyedhiyakake daya kanggo sumber penguapan, sumber sputtering lan peralatan liyane, lan kontrol paramèter saka proses nutupi sakabèhé kayata suhu, vakum lan wektu.
Komponen: Kalebu pasokan listrik, panel kontrol, sistem kontrol komputerisasi, lan sensor ngawasi.
Sistem Pasokan Gas (kanggo peralatan lapisan sputter):
Fungsi: Nyedhiyakake gas inert (contone, argon) utawa gas reaktif (contone, oksigen, nitrogen) kanggo njaga plasma utawa melu reaksi kimia kanggo ngasilake film tipis tartamtu.
Komponen: Kalebu silinder gas, pengontrol aliran, lan pipa pangiriman gas.
Sistem pendinginan:
Fungsi: cools sumber penguapan, sumber sputtering lan kamar vakum kanggo nyegah overheating.
Jinis: kalebu sistem pendinginan banyu lan sistem pendingin udara, lsp.
Sistem monitoring lan deteksi:
Fungsi: Ngawasi wektu nyata paramèter kunci ing proses lapisan, kayata ketebalan film, tingkat deposisi, vakum lan suhu, kanggo njamin kualitas lapisan.
Jinis: kalebu microbalance kristal kuarsa, monitor ketebalan optik lan analisa gas sisa, lsp.
Piranti protèktif:
Fungsi: Njamin safety operator lan peralatan saka bebaya sing disebabake dening suhu dhuwur, voltase dhuwur utawa lingkungan vakum.
Komponen: Kalebu pengawal, tombol mandeg darurat lan interlocks safety, lsp.
ngringkes.
Peralatan lapisan vakum nyadari proses nyetop film tipis berkualitas tinggi liwat karya sinergis komponen kasebut. Mesin kasebut nduweni peran penting ing nyiapake film tipis optik, elektronik, dekoratif lan fungsional.
– Artikel iki dirilis deningpabrikan mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kirim: Jul-23-2024