מהם מקורות הזיהום של ציוד ציפוי ואקום

הציוד ציפוי ואקוםמורכב מחלקים מדויקים רבים, המיוצרים באמצעות תהליכים רבים, כגון ריתוך, השחזה, חריטה, הקצעה, קידוח, כרסום וכן הלאה. עקב עבודות אלו, פני השטח של חלקי הציוד יזדהמו באופן בלתי נמנע במזהמים מסוימים כגון גריז, שמן, לכלוך, שבבי מתכת, שטף ריתוך, משחת ליטוש, סימני זיעה וכן הלאה. מזהמים אלה מתנדפים בקלות בתנאי ואקום, ובכך משפיעים על הוואקום הסופי של הציוד.

בנוסף, מזהמי ואקום אלה מעיבוד מכני סופגים כמות גדולה של גז בסביבת לחץ אטמוספרי, ובמצב ואקום, גזים אלה, שנספגו בעבר, ישתחררו שוב, מה שיהפוך לגורם מרכזי המגביל את גבול הוואקום. מסיבה זו, יש להסיר את המזהמים לפני הרכבת חלקי מכונת הציפוי בוואקום.

במהלך השימוש בציוד ואקום, גם רכיביו יזוהמו. עם זאת, הזיהום ממקור זה נגרם בעיקר מתנאי השימוש וממשאבת הוואקום.

1. אידוי הפילמנט של מד הוואקום בתנאי טמפרטורה גבוהים יוביל להיווצרות שכבה על המבודד הקרמי, אשר תפגע במידה מסוימת בחוזק הבידוד שלו, וגם תשפיע באופן מסוים על דיוק המדידה שלו;

2. עקב אידוי בטמפרטורה גבוהה, ייווצר שכבת מתכת על פני השטח ליד חוט הלהט של תותח האלקטרונים בוואקום;

3. עקב התזה של חומר העבודה, הדופן הפנימית של ציוד איכול באמצעות קרן יונים תזדהם מהתזות;

4. הדופן הפנימית של ציוד ציפוי האידוי בוואקום תזדהם על ידי חומר היעד שלו לאידוי;

5. מערכת ייבוש בוואקום משמשת לעתים קרובות, והמערכת תזדהם על ידי חומרים המתאדים;

6. שמן משאבת הדיפוזיה ושמן המשאבה המכנית בציוד ציפוי הוואקום הם גם מקור עיקרי לזיהום. לאחר שמכונת הציפוי פועלת זמן רב, עשויה להיווצר שכבת שמן בתוך הציוד.

לסיכום, חיטוי ציוד בוואקום כולל את ציוד הוואקום, מערכת הוואקום, תהליך הייצור של הוואקום והיבטים וקשרים אחרים, כמו גם את הדרישות של ציוד ציפוי הוואקום עצמו ותנאי השימוש המיוחדים בתהליך הוואקום. לכן, זיהום בוואקום הוא בעיה הראויה לתשומת לב, מכיוון שזיהום זה משפיע על ביצועי הציוד, ויש לשים לב לניקוי קבוע או בכל עת.