מקדם הטמפרטורה של התנגדות שכבת המתכת משתנה עם עובי השכבה, שכבות דקות הן שליליות, שכבות עבות הן חיוביות, ושכבות עבות יותר דומות אך אינן זהות לחומרים בתפזורת. באופן כללי, מקדם הטמפרטורה של ההתנגדות משתנה משלילי לחיובי ככל שעובי השכבה עולה לעשרות ננומטרים.
בנוסף, קצב האידוי משפיע גם על מקדם הטמפרטורה ההתנגדותי של סרטי המתכת. קצב אידוי נמוך של שכבת הסרט הוא רופף, האלקטרונים חוצים את מחסום הפוטנציאל שלו ויכולת ייצור המוליכות חלשה, בשילוב עם חמצון וספיחה, כך שערך ההתנגדות גבוה ומקדם הטמפרטורה של ההתנגדות קטן, או אפילו שלילי, וככל שקצב האידוי עולה, מקדם הטמפרטורה של ההתנגדות משתנה קטן משלילי לחיובי. זאת בשל קצב אידוי נמוך של הסרט שהוכן עקב חמצון של תכונות המוליך למחצה, ומקדם הטמפרטורה של ההתנגדות של ערכים שליליים. לסרטים שהוכנו בקצב אידוי גבוה יש בדרך כלל תכונות מתכתיות ומקדם טמפרטורה חיובי של ההתנגדות.
מכיוון שמבנה הסרט משתנה באופן בלתי הפיך עם הטמפרטורה, ההתנגדות ומקדם הטמפרטורה של ההתנגדות של הסרט משתנים גם הם עם טמפרטורת שכבת הציפוי במהלך האידוי, וככל שהסרט דק יותר, כך השינוי דרסטי יותר. ניתן לחשוב על כך כתוצאה מהשינויים הכימיים הנגרמים על ידי אידוי חוזר ופיזור מחדש של חלקיקים של סרט האי או המבנה הצינורי המשוער על המצע, כמו גם פיזור סריג, פיזור זיהומים, פיזור פגמי סריג וחמצון.
–מאמר זה פורסם על ידיייצור מכונת ציפוי ואקוםr גואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 18 בינואר 2024