מבוא לשקיעת קרן יונים ישירה

שיקוע קרן יונים ישיר הוא סוג של שיקוע בסיוע קרן יונים. שיקוע קרן יונים ישיר הוא שיקוע קרן יונים ללא הפרדת מסה. טכניקה זו שימשה לראשונה לייצור סרטי פחמן דמויי יהלום בשנת 1971, בהתבסס על העיקרון שהחלק העיקרי של הקתודה והאנודה של מקור היונים עשוי מפחמן.

הגז הרגיש מובל לתא הפריקה, ומתווסף שדה מגנטי חיצוני כדי לגרום לפריקת פלזמה בתנאי לחץ נמוך, תוך הסתמכות על אפקט ההתזה של היונים על האלקטרודות כדי לייצר יוני פחמן. יוני פחמן ויונים צפופים בפלזמה הושרו לתא השיקוע בו זמנית, והם הואצו להזרקה על המצע עקב לחץ הטיה שלילי על המצע.

תוצאות הבדיקה מראות כי יוני הפחמן בעלי אנרגיה של 50~100eV בחֶדֶרטמפרטורה, ב-Si, NaCl, KCI, Ni ומצעים אחרים על הכנת סרט פחמן שקוף דמוי יהלום, התנגדות גבוהה של 10Q-cm, מקדם שבירה של כ-2, בלתי מסיס בחומצות אנאורגניות ואורגניות, בעלי קשיות גבוהה מאוד.

——מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה