רכיבי ציוד ציפוי ואקום

ציוד ציפוי בוואקום מורכב בדרך כלל ממספר רכיבים מרכזיים, שלכל אחד מהם תפקיד ספציפי משלו, הפועלים יחד כדי להשיג שקיעת שכבה יעילה ואחידה. להלן תיאור הרכיבים העיקריים ותפקידיהם:

רכיבים עיקריים
תא ואקום:
פונקציה: מספק סביבה בלחץ נמוך או ואקום גבוה כדי למנוע מחומר הציפוי להגיב עם זיהומים הנישאים באוויר במהלך אידוי או התזה, תוך הבטחת טוהר ואיכות הסרט.
מבנה: עשוי בדרך כלל מפלדת אל-חלד או אלומיניום בעלי חוזק גבוה, התכנון הפנימי לוקח בחשבון את פיזור זרימת האוויר וקלות הנחת המצע.
מערכת משאבת ואקום:
פונקציה: משמש לשאיבת הגז בתוך תא הוואקום כדי להשיג את רמת הוואקום הנדרשת.
סוגים: כולל משאבות מכניות (למשל משאבות סיבוביות), משאבות טורבומולקולריות, משאבות דיפוזיה ומשאבות יונים.
מקור אידוי או מקור התזה:
פונקציה: מחמם ומאדה את חומר הציפוי ליצירת אדים או פלזמה בוואקום.
סוגים: כולל מקור חימום התנגדות, מקור אידוי אלומת אלקטרונים, מקור התזה מגנטרון ומקור אידוי לייזר וכו'.
מחזיק מצע ומנגנון סיבוב:
פונקציה: מחזיק את המצע ומבטיח שקיעת חומר הציפוי אחידה על פני המצע באמצעות סיבוב או תנודה.
בנייה: כולל בדרך כלל מלחציים מתכווננים ומנגנונים מסתובבים/מתנודדים כדי להתאים למצעים בצורות וגדלים שונים.
מערכת אספקת חשמל ובקרה:
פונקציה: מספק חשמל למקור האידוי, מקור ההתזה וציוד אחר, ושולט בפרמטרים של תהליך הציפוי הכולל כגון טמפרטורה, ואקום וזמן.
רכיבים: כולל ספקי כוח, לוחות בקרה, מערכות בקרה ממוחשבות וחיישני ניטור.
מערכת אספקת גז (לציוד ציפוי התזה):
תפקיד: אספקת גזים אינרטיים (למשל, ארגון) או גזים ריאקטיביים (למשל, חמצן, חנקן) לשמירה על פלזמה או להשתתפות בתגובה כימית ליצירת שכבה דקה ספציפית.
רכיבים: כולל בלוני גז, בקרי זרימה וצנרת אספקת גז.
מערכת קירור:
פונקציה: מקרר את מקור האידוי, מקור ההתזה ותא הוואקום כדי למנוע התחממות יתר.
סוגים: כולל מערכות קירור מים ומערכות קירור אוויר וכו'.
מערכת ניטור וגילוי:
פונקציה: ניטור בזמן אמת של פרמטרים מרכזיים בתהליך הציפוי, כגון עובי שכבה, קצב שקיעת חומר, ואקום וטמפרטורה, כדי להבטיח את איכות הציפוי.
סוגים: כולל מיקרו-מאזן גביש קוורץ, צג עובי אופטי ומנתח גז שיורי וכו'.
התקני הגנה:
פונקציה: מבטיח את בטיחותם של המפעילים והציוד מפני סכנות הנגרמות מטמפרטורות גבוהות, מתחים גבוהים או סביבות ואקום.
רכיבים: כולל מגנים, לחצני עצירת חירום ומנעולי בטיחות וכו'.
לְסַכֵּם.
ציוד ציפוי בוואקום מממש את תהליך הכנת שכבות דקות באיכות גבוהה באמצעות עבודה סינרגטית של רכיבים אלה. מכונות אלה ממלאות תפקיד חיוני בהכנת שכבות דקות אופטיות, אלקטרוניות, דקורטיביות ופונקציונליות.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה