Hitastuðull viðnáms málmfilmu er breytilegur eftir þykkt filmunnar, þunnar filmur eru neikvæðar, þykkar filmur eru jákvæðar og þykkari filmur eru svipaðar en ekki eins og lausefni. Almennt breytist hitastigstuðull viðnámsins úr neikvæðu í jákvætt þegar filmuþykktin eykst í tugi nanómetra.
Að auki hefur uppgufunarhraðinn einnig áhrif á viðnámshitastuðul málmfilmunnar. Lágt uppgufunarhraði filmunnar er laus, rafeindir yfir spennuhindrunina og leiðni hennar er veik, ásamt oxun og aðsogi, þannig að viðnámsgildið er hátt og viðnámshitastuðullinn lítill eða jafnvel neikvæður. Með aukinni uppgufunarhraða breytist viðnámshitastuðullinn lítillega frá stórum til jákvæðum. Þetta er vegna lágs uppgufunarhraða filmunnar vegna oxunareiginleika hálfleiðara og neikvæðs viðnámshitastuðuls. Filmur sem eru framleiddar með miklum uppgufunarhraða hafa tilhneigingu til að hafa málmeiginleika og jákvæðan viðnámshitastuðul.
Þar sem uppbygging filmunnar breytist óafturkræft með hitastigi, breytast viðnám og hitastigsstuðull viðnáms filmunnar einnig með hitastigi húðunarlagsins við uppgufun, og því þynnri sem filman er, því meiri verða breytingin. Þetta má líta á sem afleiðingu efnabreytinga sem orsakast af enduruppgufun og endurdreifingu agna úr eyju- eða rörlaga uppbyggingarfilmunni á undirlaginu, sem og dreifingu grindar, dreifingu óhreininda, dreifingu grindargalla og oxun.
–Þessi grein er gefin út afframleiðslu á tómarúmhúðunarvélr Guangdong Zhenhua
Birtingartími: 18. janúar 2024