Bein jónageislaútfelling er tegund af jónageislaaðstoðaðri útfellingu. Bein jónageislaútfelling er jónageislaútfelling án massaaðskilnaðar. Þessi tækni var fyrst notuð til að framleiða demantlík kolefnisfilmur árið 1971, byggt á þeirri meginreglu að meginhluti katóðu og anóðu jóngjafans er úr kolefni.
Skynjanlega gasið er leitt inn í útblásturshólfið og ytra segulsvið er bætt við til að valda plasmaútblástur við lágan þrýsting, sem byggir á spúttunaráhrifum jónanna á rafskautunum til að framleiða kolefnisjónir. Kolefnisjónir og þéttar jónir í plasmanu voru örvaðar inn í útblásturshólfið á sama tíma og þeim var hraðað til að sprauta á undirlagið vegna neikvæðs þrýstings á undirlaginu.
Niðurstöður prófunarinnar sýna að kolefnisjónirnar með orkuna 50~100 eV viðherbergihitastig, í Si, NaCl, KCl, Ni og öðrum undirlögum við gerð gegnsærrar demantslíkrar kolefnisfilmu, viðnám allt að 10Q-cm, ljósbrotsstuðull um það bil 2, óleysanlegt í ólífrænum og lífrænum sýrum, hafa mjög mikla hörku.
—— Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 31. ágúst 2023