Lofttæmishúðunarbúnaður samanstendur yfirleitt af nokkrum lykilhlutum, hver með sína sérstöku virkni, sem vinna saman að því að ná fram skilvirkri og einsleitri filmuútfellingu. Hér að neðan er lýsing á helstu íhlutum og virkni þeirra:
Helstu íhlutir
Lofttæmishólf:
Virkni: Veitir lágþrýstings- eða hálofttæmisumhverfi til að koma í veg fyrir að húðunarefnið hvarfast við óhreinindi í lofti við uppgufun eða spútrun, sem tryggir hreinleika og gæði filmunnar.
Uppbygging: Venjulega úr hágæða ryðfríu stáli eða áli, innri hönnunin tekur mið af dreifingu loftstreymis og auðveldri staðsetningu undirlags.
Lofttæmisdælukerfi:
Virkni: Notað til að dæla út gasinu inni í lofttæmishólfinu til að ná fram nauðsynlegu lofttæmisstigi.
Tegundir: Þar á meðal vélrænar dælur (t.d. snúningsblöðudælur), túrbósameindadælur, dreifidælur og jónadælur.
Uppgufunaruppspretta eða spúttunaruppspretta:
Virkni: hitar og gufar upp húðunarefnið til að mynda gufu eða plasma í lofttæmi.
Tegundir: þar á meðal viðnámshitunargjafi, rafeindageislauppgufunargjafi, magnetron sputteringgjafi og leysigeislauppgufunargjafi o.s.frv.
Undirlagshaldari og snúningsbúnaður:
Virkni: Heldur undirlaginu og tryggir jafna útfellingu húðunarefnisins á yfirborð undirlagsins með snúningi eða sveiflum.
SMÍÐI: Inniheldur venjulega stillanlegar klemmur og snúnings-/sveiflukerfi til að koma til móts við undirlag af mismunandi stærðum og gerðum.
Aflgjafi og stjórnkerfi:
Virkni: Veitir afl til uppgufunargjafans, spúttunargjafans og annars búnaðar og stýrir breytum alls húðunarferlisins eins og hitastigi, lofttæmi og tíma.
Íhlutir: Inniheldur aflgjafa, stjórnborð, tölvustýrð stjórnkerfi og eftirlitsskynjara.
Gasbirgðakerfi (fyrir búnað til að húða spúttara):
Hlutverk: Gefur óvirkar lofttegundir (t.d. argon) eða hvarfgjarnar lofttegundir (t.d. súrefni, köfnunarefni) til að viðhalda plasma eða taka þátt í efnahvörfum til að mynda ákveðna þunna filmu.
Íhlutir: Inniheldur gashylki, flæðisstýringar og gasleiðslur.
Kælikerfi:
Virkni: Kælir uppgufunargjafann, spúttunargjafann og lofttæmishólfið til að koma í veg fyrir ofhitnun.
Tegundir: innihalda vatnskælikerfi og loftkælikerfi o.s.frv.
Eftirlits- og greiningarkerfi:
Virkni: Rauntímaeftirlit með lykilþáttum í húðunarferlinu, svo sem filmuþykkt, útfellingarhraða, lofttæmi og hitastigi, til að tryggja gæði húðunar.
Tegundir: þar á meðal örvog fyrir kvarskristall, ljósþykktarmælir og leifargasgreinir o.s.frv.
Verndarbúnaður:
Hlutverk: Tryggir öryggi notenda og búnaðar gegn hættum af völdum mikils hitastigs, mikillar spennu eða lofttæmis.
Íhlutir: Inniheldur hlífar, neyðarstöðvunarhnappa og öryggislása o.s.frv.
Draga saman.
Lofttæmisbúnaður gerir kleift að setja á hágæða þunnfilmur með samverkandi vinnu þessara íhluta. Þessar vélar gegna mikilvægu hlutverki í framleiðslu á ljósfræðilegum, rafrænum, skreytingar- og hagnýtum þunnfilmum.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 23. júlí 2024