Apa saja sumber polusi dari peralatan pelapisan vakum?

Ituperalatan pelapis vakumterdiri dari banyak komponen presisi, yang dibuat melalui banyak proses, seperti pengelasan, penggilingan, pembubutan, perataan, pemboran, penggilingan, dan sebagainya. Karena pekerjaan ini, permukaan komponen peralatan pasti akan terkontaminasi dengan beberapa polutan seperti minyak, kotoran minyak, serpihan logam, fluks las, pasta pemoles, bekas keringat, dan sebagainya. Polutan ini mudah menguap dalam kondisi vakum, sehingga memengaruhi vakum akhir peralatan.

Selain itu, polutan vakum dari pemrosesan mekanis ini menyerap sejumlah besar gas di lingkungan tekanan atmosfer, dan dalam keadaan vakum, gas yang sebelumnya diserap ini juga akan dilepaskan lagi, menjadi faktor utama yang membatasi batas vakum. Oleh karena itu, polutan harus dihilangkan sebelum komponen mesin pelapis vakum dirakit.

Selama penggunaan peralatan vakum, komponen-komponennya juga akan terkontaminasi. Namun, pencemaran dari sumber ini terutama disebabkan oleh kondisi penggunaan dan pompa vakum.

1. Penguapan filamen pengukur vakum dalam kondisi suhu tinggi akan menyebabkan terbentuknya lapisan pada isolator keramik, yang akan merusak kekuatan insulasinya sampai batas tertentu, dan juga berdampak tertentu pada keakuratan pengukurannya;

2. Karena penguapan suhu tinggi, lapisan logam akan terbentuk di permukaan dekat filamen senjata elektron dalam ruang hampa;

3. Karena cipratan benda kerja, dinding bagian dalam peralatan etsa sinar ion akan terkontaminasi oleh cipratan;

4. Dinding bagian dalam peralatan pelapis penguapan vakum akan terkontaminasi oleh bahan target penguapannya;

5. Sistem pengeringan vakum sering digunakan, dan sistem akan terkontaminasi oleh zat yang menguap;

6. Oli pompa difusi dan oli pompa mekanis dalam peralatan pelapis vakum juga merupakan sumber utama pencemaran. Setelah mesin pelapis bekerja dalam waktu lama, lapisan oli dapat terbentuk di dalam peralatan.

Singkatnya, sanitasi vakum peralatan melibatkan peralatan vakum, sistem vakum, produksi proses vakum dan aspek serta hubungan lainnya, serta persyaratan peralatan pelapisan vakum itu sendiri dan proses vakum khusus pada kondisi penggunaan. Oleh karena itu, pencemaran vakum merupakan masalah yang perlu diperhatikan, karena pencemaran ini akan memengaruhi kinerja peralatan, dan perhatian harus diberikan pada pembersihan rutin atau kapan saja.