Վակուումային ծածկույթների սարքավորումների բաղադրիչներ

Վակուումային ծածկույթների սարքավորումները սովորաբար բաղկացած են մի քանի հիմնական բաղադրիչներից, որոնցից յուրաքանչյուրն ունի իր յուրահատուկ գործառույթը, որոնք համատեղ աշխատում են՝ արդյունավետ և միատարր թաղանթի նստեցման համար: Ստորև բերված է հիմնական բաղադրիչների և դրանց գործառույթների նկարագրությունը.

Հիմնական բաղադրիչներ
Վակուումային խցիկ՝
Գործառույթը՝ Ապահովում է ցածր ճնշման կամ բարձր վակուումային միջավայր՝ կանխելու համար ծածկույթի նյութի ռեակցիան օդային խառնուրդների հետ գոլորշիացման կամ ցողման ընթացքում՝ ապահովելով թաղանթի մաքրությունն ու որակը։
Կառուցվածք. Սովորաբար պատրաստված է բարձր ամրության չժանգոտվող պողպատից կամ ալյումինից, ներքին դիզայնը հաշվի է առնում օդի հոսքի բաշխումը և հիմքի տեղադրման հեշտությունը:
Վակուումային պոմպային համակարգ.
Գործառույթը՝ Օգտագործվում է վակուումային խցիկի ներսում գազը մղելու համար՝ անհրաժեշտ վակուումային մակարդակին հասնելու համար։
Տեսակներ՝ ներառյալ մեխանիկական պոմպեր (օրինակ՝ պտտվող թևավոր պոմպեր), տուրբոմոլեկուլային պոմպեր, դիֆուզիոն պոմպեր և իոնային պոմպեր։
Գոլորշիացման աղբյուր կամ փոշիացման աղբյուր՝
Գործառույթը՝ տաքացնում և գոլորշիացնում է ծածկույթի նյութը՝ վակուումում գոլորշի կամ պլազմա առաջացնելով։
Տեսակներ՝ ներառյալ դիմադրության տաքացման աղբյուր, էլեկտրոնային փնջի գոլորշիացման աղբյուր, մագնետրոնային փոշիացման աղբյուր և լազերային գոլորշիացման աղբյուր և այլն։
Հիմքի պահոց և պտտվող մեխանիզմ.
Գործառույթը՝ Պահում է հիմքը և ապահովում է ծածկույթի նյութի միատարր նստեցումը հիմքի մակերեսին՝ պտտման կամ տատանման միջոցով։
ԿԱՌՈՒՑՈՒՄ. Սովորաբար ներառում է կարգավորվող սեղմակներ և պտտվող/տատանվող մեխանիզմներ՝ տարբեր ձևերի և չափերի հիմքերը տեղավորելու համար։
Էլեկտրամատակարարման և կառավարման համակարգ.
Գործառույթը՝ էներգիա է մատակարարում գոլորշիացման աղբյուրին, փոշիացման աղբյուրին և այլ սարքավորումներին, ինչպես նաև կարգավորում է ծածկույթի ընդհանուր գործընթացի պարամետրերը, ինչպիսիք են ջերմաստիճանը, վակուումը և ժամանակը։
Բաղադրիչներ՝ Ներառում է սնուցման աղբյուրներ, կառավարման վահանակներ, համակարգչային կառավարման համակարգեր և մոնիտորինգի սենսորներ:
Գազամատակարարման համակարգ (ցողման ծածկույթով սարքավորումների համար):
Գործառույթը՝ մատակարարում է իներտ գազեր (օրինակ՝ արգոն) կամ ռեակտիվ գազեր (օրինակ՝ թթվածին, ազոտ)՝ պլազմա պահպանելու կամ որոշակի բարակ թաղանթ ստեղծելու քիմիական ռեակցիային մասնակցելու համար։
Բաղադրիչներ՝ Ներառում է գազի բալոններ, հոսքի կարգավորիչներ և գազի մատակարարման խողովակաշարեր։
Սառեցման համակարգ՝
Գործառույթը՝ սառեցնում է գոլորշիացման աղբյուրը, փոշիացման աղբյուրը և վակուումային խցիկը՝ գերտաքացումը կանխելու համար։
Տեսակներ՝ ներառում են ջրային սառեցման համակարգեր և օդային սառեցման համակարգեր և այլն։
Մոնիթորինգի և հայտնաբերման համակարգ.
Գործառույթը՝ ծածկույթի որակն ապահովելու համար ծածկույթի գործընթացի հիմնական պարամետրերի, ինչպիսիք են թաղանթի հաստությունը, նստեցման արագությունը, վակուումը և ջերմաստիճանը, իրական ժամանակում մոնիթորինգ։
Տեսակներ՝ ներառյալ քվարցային բյուրեղային միկրոհավասարակշռություն, օպտիկական հաստության մոնիտոր և մնացորդային գազի վերլուծիչ և այլն։
Պաշտպանիչ սարքեր.
Գործառույթը՝ Ապահովում է օպերատորների և սարքավորումների անվտանգությունը բարձր ջերմաստիճանների, բարձր լարումների կամ վակուումային միջավայրերի պատճառած վտանգներից։
Բաղադրիչներ՝ Ներառում է պաշտպանիչներ, արտակարգ կանգառի կոճակներ և անվտանգության կողպեքներ և այլն:
Ամփոփել։
Վակուումային ծածկույթների սարքավորումները իրականացնում են բարձրորակ բարակ թաղանթների նստեցման գործընթացը՝ այս բաղադրիչների սիներգետիկ աշխատանքի միջոցով: Այս մեքենաները կարևոր դեր են խաղում օպտիկական, էլեկտրոնային, դեկորատիվ և ֆունկցիոնալ բարակ թաղանթների պատրաստման գործում:

- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա